[发明专利]一种磁控溅镀设备

说明书

本发明公开了一种磁控溅镀设备，包括载台，在水平方向被移动；升降装置，其底部固定至地面，其顶部设有一夹具；以及靶材，位于所述载台上方，其一端可转动式安装至所述载台，其另一端可拆卸式安装至所述夹具内。本发明的有益效果在于本发明的磁控溅镀设备添加机械升降装置，通过控制升降装置的升降臂从而抬高靶材的密封端，节约了人力资源。

技术领域

本申请涉及机械领域，具体涉及一种磁控溅镀设备。

背景技术

在高世代的面板行业，随着玻璃的越来越大，靶材也越来越大，11代面板产线的靶材设计重量达到300KG，长度超3m；在更换靶材作业过程中，需要将下机的靶材背管内剩余的冷却水排出。行业现采用的是4～6人合力抱起靶材密封端，将其抬高到一定高度，使靶材内的水从另一端排除。这会造成极大的人力资源消耗。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种磁控溅镀设备，用以解决现有技术中需要靶材内部冷却水更换不便、人工成本过高的技术问题。

解决上述技术问题的技术方案是：本发明提供了一种磁控溅镀设备，包括载台，在水平方向被移动；升降装置，其底部固定至地面，其顶部设有一夹具；以及靶材，位于所述载台上方，其一端可转动式安装至所述载台，其另一端可拆卸式安装至所述夹具内。

进一步的，所述升降装置包括底座，固定至地面；以及升降臂，被安装至所述底座顶部。

进一步的，磁控溅镀设备还包括连接装置，可拆卸式安装至所述升降装置顶部；其中，所述夹具可拆卸式安装至所述连接装置顶部。

进一步的，所述连接装置包括连接杆，其两端分别安装至一升降装置顶部；卡接件，包括卡接件本体，固定至所述连接杆顶面；以及凹槽，下凹于所述卡接件本体顶面；所述夹具被安装至所述凹槽内。

进一步的，所述夹具包括第一夹板，固定于所述卡接件内，所述第一夹板远离所述卡接件一侧设有第一凹弧状通孔；滑槽，设于所述第一夹板两端，所述滑槽延伸方向垂直于所述连接杆；以及第二夹板，可移动式设于所述滑槽上，所述第二夹板远靠近所述第一夹板一侧设有第二凹弧状通孔；其中，所述第一凹弧状通孔和第二凹弧状通孔的半径大于或等于所述靶材的轴半径相同。

进一步的，所述第一夹板的侧壁上设有若干第一通孔，所述第一通孔与所述第一凹弧状通孔相切或相交；所述第二夹板的侧壁上设有若干第二通孔，所述第二通孔与所述第一凹弧状通孔相切或相交。

进一步的，磁控溅镀设备还包括调节杆，可转动式设于所述第一通孔或第二通孔内。

进一步的，磁控溅镀设备还包括垫块，固定至所述载台的顶面；其中，所述垫块顶面设有一凹槽，所述靶材被安装于所述凹槽内；所述凹槽为U形槽或弧形槽。

进一步的，磁控溅镀设备还包括传动装置，包括传动滚轮，所述传动滚轮设于所述载台远离所述靶材的一侧，所述传动滚轮的轴线方向与所述靶材的轴线方向垂直。

进一步的，磁控溅镀设备还包括除尘机构，设于所述载台远离所述靶材的一侧，且对应所述传动装置，所述除尘机构包括刷头，所述刷头与所述传动滚轮的外侧壁接触。

本发明的有益效果在于，本发明的磁控溅镀设备添加机械升降装置，通过控制升降装置抬高靶材的密封端，使得靶材内部的液体能够从靶材的另一端排出，操作简单方便，节约了人力资源。

在本发明中，靶材的密封端通过夹具固定于升降装置上，夹具设于载台上方，不会对载台的移动照成影响，而且可以防止靶材的密封端在升降时从升降装置滑落。升降装置设在载台以及传动装置的两侧，且其底座固定在地面上，从而不会对载台的行进路线造成不良影响。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1是实施例中磁控溅镀设备结构示意图。