[发明专利]一种磁控溅镀设备

权利要求书

1.一种磁控溅镀设备，其特征在于，包括

载台，在水平方向被移动；

升降装置，其底部固定至地面；

连接装置，可拆卸式安装至所述升降装置顶部；所述连接装置顶部可拆卸式安装有一夹具；以及

靶材，位于所述载台上方，其一端可转动式安装至所述载台，其另一端可拆卸式安装至所述夹具内；

其中，所述夹具包括第一夹板、滑槽和第二夹板；

所述第一夹板固定于所述连接装置顶部，所述第一夹板远离所述连接装置一侧设有第一凹弧状通孔；

所述滑槽设于所述第一夹板两端，所述滑槽延伸方向垂直于所述连接装置；以及

所述第二夹板可移动式设于所述滑槽上，所述第二夹板靠近所述第一夹板一侧设有第二凹弧状通孔；

其中，所述第一凹弧状通孔和第二凹弧状通孔的半径大于或等于所述靶材的轴半径相同。

2.根据权利要求1所述的磁控溅镀设备，其特征在于，所述升降装置包括底座，固定至地面；以及

升降臂，被安装至所述底座顶部。

3.根据权利要求1所述的磁控溅镀设备，其特征在于，

所述连接装置包括

连接杆，其两端分别安装至一升降装置顶部；

卡接件，包括

卡接件本体，固定至所述连接杆顶面；以及

凹槽，下凹于所述卡接件本体顶面；所述夹具被安装至所述凹槽内。

4.根据权利要求3所述的磁控溅镀设备，其特征在于，

所述第一夹板固定于所述卡接件的凹槽内，所述第一夹板远离所述卡接件一侧设有第一凹弧状通孔；

所述滑槽设于所述第一夹板两端，所述滑槽延伸方向垂直于所述连接杆；以及

所述第二夹板可移动式设于所述滑槽上，所述第二夹板靠近所述第一夹板一侧设有第二凹弧状通孔。

5.根据权利要求4所述的磁控溅镀设备，其特征在于，

所述第一夹板的侧壁上设有若干第一通孔，所述第一通孔与所述第一凹弧状通孔相切或相交；

所述第二夹板的侧壁上设有若干第二通孔，所述第二通孔与所述第一凹弧状通孔相切或相交。

6.根据权利要求5所述的磁控溅镀设备，其特征在于，还包括

调节杆，可转动式设于所述第一通孔或第二通孔内。

7.根据权利要求1所述的磁控溅镀设备，其特征在于，还包括

垫块，固定至所述载台的顶面；

其中，所述垫块顶面设有一凹槽，所述靶材被安装于所述凹槽内；

所述凹槽为U形槽或弧形槽。

8.根据权利要求1所述的磁控溅镀设备，其特征在于，还包括

传动装置，包括传动滚轮，所述传动滚轮设于所述载台下方，所述传动滚轮的轴线方向与所述靶材的轴线方向垂直。

9.根据权利要求8所述的磁控溅镀设备，其特征在于，还包括

除尘机构，设于所述载台下方，且对应所述传动装置，所述除尘机构包括刷头，所述刷头与所述传动滚轮的外侧壁接触。