[发明专利]一种BGA产品、热压设备及热压工艺在审

专利信息
申请号: 202110511571.1 申请日: 2021-05-11
公开(公告)号: CN113363219A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 马晓波;曾昭孔;卢玉溪;吴江雪 申请(专利权)人: 苏州通富超威半导体有限公司
主分类号: H01L23/10 分类号: H01L23/10;H01L21/67;H01L21/50
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 成丹
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 bga 产品 热压 设备 工艺
【权利要求书】:

1.一种BGA产品,其特征在于,所述BGA产品包括:

芯片;

基板,所述基板的第一表面包括第一区域和第二区域;所述第二区域环绕所述第一区域;所述芯片设置于所述第一区域;所述第二区域用于承压热压设备;

其中,所述芯片远离所述基板的一面预留有第一空间,所述第一空间用于设置铟片。

2.根据权利要求1所述的BGA产品,其特征在于,所述基板的第一表面还包括第三区域,所述第二区域环绕所述第三区域,所述第三区域环绕所述第一区域;

所述第三区域用于盖设散热盖;

所述第一空间预留于所述芯片与所述散热盖之间。

3.一种热压设备,其特征在于,所述热压设备包括:

加热模块,所述加热模块与权利要求1中铟片设置位置对应设置;

支撑架,所述支撑架上开设有抽真空口,所述支撑架设置有支撑腿,所述支撑腿底部设置有缓冲块,所述缓冲块与权利要求1中第三区域对应设置;所述加热模块嵌设于所述支撑架内。

4.根据权利要求3所述的热压设备,其特征在于,所述热压设备还包括:

驱动件,所述驱动件用于驱动所述支撑架;

控制系统,所述控制系统用于控制所述驱动件驱动所述支撑架。

5.根据权利要求4所述的热压设备,其特征在于,所述热压设备还包括:

弹性连接件,所述弹性连接件分别与所述支撑架和所述驱动件连接。

6.根据权利要求4或5所述的热压设备,其特征在于,所述热压设备还包括:

测力传感器,测力传感器与所述控制系统电连接。

7.一种热压工艺,其特征在于,应用于如权利要求1或2所述的BGA产品,所述热压工艺采用如权利要求3-6所述的热压设备,所述热压工艺包括:

当所述热压设备的加热模块的温度到达第一预设温度时,将所述热压设备的缓冲块放置于基板的第三区域,以使所述加热模块对准铟片;

通过抽真空口对所述缓冲块与所述基板之间抽真空,当所述加热模块接触到散热盖时,所述加热模块对所述铟片及所述散热盖加热,以使所述BGA产品逐渐升温,且真空度逐渐增大,使得所述缓冲块发生形变、所述加热模块下压,随真空度增加,所述加热模块继续将所述铟片压紧;

当满足预设条件时,维持当前真空度继续抽真空;

当所述加热模块的温度达到第二预设温度,保持预设时间后,停止抽真空,将所述热压设备从所述BGA产品移除。

8.根据权利要求7所述的热压工艺,其特征在于,当所述热压设备包括驱动件和所述控制系统时,所述将所述热压设备的缓冲块放置于基板的第三区域,包括:

所述控制系统控制所述驱动件驱动所述支撑架,将所述缓冲块放置于所述基板的第三区域。

9.根据权利要求7所述的热压工艺,其特征在于,所述满足预设条件包括:

所述真空度达到预设真空度;或

弹性连接件的示数的变化在预设范围内。

10.根据权利要求7-9任一项所述的热压工艺,其特征在于,所述热压工艺还包括:

对所述加热模块进行预热。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州通富超威半导体有限公司,未经苏州通富超威半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110511571.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top