[发明专利]一种BGA产品、热压设备及热压工艺在审
申请号: | 202110511571.1 | 申请日: | 2021-05-11 |
公开(公告)号: | CN113363219A | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 马晓波;曾昭孔;卢玉溪;吴江雪 | 申请(专利权)人: | 苏州通富超威半导体有限公司 |
主分类号: | H01L23/10 | 分类号: | H01L23/10;H01L21/67;H01L21/50 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 成丹 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 bga 产品 热压 设备 工艺 | ||
1.一种BGA产品,其特征在于,所述BGA产品包括:
芯片;
基板,所述基板的第一表面包括第一区域和第二区域;所述第二区域环绕所述第一区域;所述芯片设置于所述第一区域;所述第二区域用于承压热压设备;
其中,所述芯片远离所述基板的一面预留有第一空间,所述第一空间用于设置铟片。
2.根据权利要求1所述的BGA产品,其特征在于,所述基板的第一表面还包括第三区域,所述第二区域环绕所述第三区域,所述第三区域环绕所述第一区域;
所述第三区域用于盖设散热盖;
所述第一空间预留于所述芯片与所述散热盖之间。
3.一种热压设备,其特征在于,所述热压设备包括:
加热模块,所述加热模块与权利要求1中铟片设置位置对应设置;
支撑架,所述支撑架上开设有抽真空口,所述支撑架设置有支撑腿,所述支撑腿底部设置有缓冲块,所述缓冲块与权利要求1中第三区域对应设置;所述加热模块嵌设于所述支撑架内。
4.根据权利要求3所述的热压设备,其特征在于,所述热压设备还包括:
驱动件,所述驱动件用于驱动所述支撑架;
控制系统,所述控制系统用于控制所述驱动件驱动所述支撑架。
5.根据权利要求4所述的热压设备,其特征在于,所述热压设备还包括:
弹性连接件,所述弹性连接件分别与所述支撑架和所述驱动件连接。
6.根据权利要求4或5所述的热压设备,其特征在于,所述热压设备还包括:
测力传感器,测力传感器与所述控制系统电连接。
7.一种热压工艺,其特征在于,应用于如权利要求1或2所述的BGA产品,所述热压工艺采用如权利要求3-6所述的热压设备,所述热压工艺包括:
当所述热压设备的加热模块的温度到达第一预设温度时,将所述热压设备的缓冲块放置于基板的第三区域,以使所述加热模块对准铟片;
通过抽真空口对所述缓冲块与所述基板之间抽真空,当所述加热模块接触到散热盖时,所述加热模块对所述铟片及所述散热盖加热,以使所述BGA产品逐渐升温,且真空度逐渐增大,使得所述缓冲块发生形变、所述加热模块下压,随真空度增加,所述加热模块继续将所述铟片压紧;
当满足预设条件时,维持当前真空度继续抽真空;
当所述加热模块的温度达到第二预设温度,保持预设时间后,停止抽真空,将所述热压设备从所述BGA产品移除。
8.根据权利要求7所述的热压工艺,其特征在于,当所述热压设备包括驱动件和所述控制系统时,所述将所述热压设备的缓冲块放置于基板的第三区域,包括:
所述控制系统控制所述驱动件驱动所述支撑架,将所述缓冲块放置于所述基板的第三区域。
9.根据权利要求7所述的热压工艺,其特征在于,所述满足预设条件包括:
所述真空度达到预设真空度;或
弹性连接件的示数的变化在预设范围内。
10.根据权利要求7-9任一项所述的热压工艺,其特征在于,所述热压工艺还包括:
对所述加热模块进行预热。
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