[发明专利]一种用于电子高纯气体的离心压缩方法

权利要求书

1.一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，电子用高纯工艺气体经过压缩机主体(1)的进气口(2)进入压缩机主体(1)内部，经过转子(3)的高速旋转逐级经过级间隔板(4)进入下一级叶轮通道逐级增压，并经由排气口(5)排出；其特征在于：转子(3)两端对称依次向外侧套设有一级轴封(6)、二级轴封(7)、三级轴封(8)和隔离轴封(9)；转子(3)两端的两个一级轴封(6)通过平衡管(10)连通；在压缩机主体(1)工作时，一级轴封(6)内通入超高纯混合气体，二级轴封(7)内通入高纯气体，三级轴封(8)内通入混合气体，隔离轴封(9)内通过惰性气体；一级轴封(6)的通气压力大于二级轴封(7)的通气压力大于三级轴封(8)的通气压力大于隔离轴封(9)的通气压力；压缩机主体(1)内部与高纯气体接触的级间隔板(4)采用螺栓(12)连接；螺栓(12)轴向开设有贯通的换气孔(13)。

2.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，其特征在于，转子(3)上套设有位于压缩机主体(1)端头的平衡盘(11)，平衡盘(11)位于压缩机主体(1)内腔和一级轴封(6)之间。

3.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，其特征在于，一级轴封(6)的最大通气压力为0.3MPa，最大通入流量为20Nm³/h。

4.根据权利要求3所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，其特征在于，一级轴封(6)的最大泄漏压力为0.1MPa，最大泄漏流量为30Nm³/h；二级轴封(7)的最大泄漏压力为0.2MPa，最大泄漏流量为30Nm³/h；三级轴封(8)的最大泄漏压力为0.1MPa，最大泄漏流量为30Nm³/h。

5.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，其特征在于，压缩机主体(1)的级数为1-12级。

6.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，其特征在于，供气系统通过EP级金属管路、法兰和活接头进行连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，其特征在于，压缩机主体(1)的内流道表面采用金属抛光加工技术进行抛光，表面粗糙度Ra≤1.6。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，其特征在于，各结构零件进行组装时进行脱脂、除锈处理。

9.根据权利要求8所述的一种用于电子高纯气体的离心压缩方法，其特征在于，对O型圈滑装部位涂高纯洁净气体专用密封脂进行套装。