[发明专利]一种金刚石制品及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202110507575.2 | 申请日： | 2021-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN113445023A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 陈汪林;黄勇浩;陈占祥;王成勇;伍达尧 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/02;C23C14/06;C23C28/04;F28F21/02 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈嘉毅 |
| 地址： | 510090 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 石制品 及其 制备 方法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种金刚石制品的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1.在清洁后的衬底表面沉积一层DLC膜，所述DLC膜的厚度为0.1～4μm；
S2.将步骤S2的衬底置于化学气相沉积炉中，通入H2和甲烷，沉积金刚石；
S3.去除步骤S2中的衬底，即得金刚石。
2.根据权利要求1所述金刚石制品的制备方法，其特征在于，所述DLC膜的厚度为0.5～3μm。
3.根据权利要求1所述金刚石制品的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中沉积温度为850℃～1000℃。
4.根据权利要求1所述金刚石制品的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中氢气流量为0.8L/min～1.5L/min。
5.根据权利要求1所述金刚石制品的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中甲烷流量为0.1L/min～0.5L/min。
6.根据权利要求1所述金刚石制品的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中去除衬底的方法为腐蚀方法。
7.根据权利要求1所述金刚石制品的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中所述衬底的材质为钢铁合金、陶瓷或硬质合金中的一种。
8.根据权利要求1所述金刚石管制品的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中所述清洁是经过除油和烘干。
9.一种金刚石管，其特征在于，根据权利要求1～8任一项所述金刚石制品的制备方法制备得到。
10.权利要求9所述金刚石管在热交换器中的应用。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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