[发明专利]一种BGA溅镀工艺方法在审

专利信息
申请号: 202110505681.7 申请日: 2021-05-10
公开(公告)号: CN113436978A 公开(公告)日: 2021-09-24
发明(设计)人: 王杰 申请(专利权)人: 江苏长电科技股份有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/60
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 赵海波
地址: 214400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 bga 工艺 方法
【权利要求书】:

1.一种BGA溅镀工艺方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:

步骤一、取一治具,所述治具包括固定平台,所述固定平台四周设置有活动平台,所述活动平台能够绕固定平台侧边翻转上升或落下,在治具表面贴上胶膜并将单颗产品吸取放置在该治具的固定平台上;

步骤二、固定平台四周的活动平台向上翻,直至活动平台的最外端与产品侧壁接触;

步骤三、在产品外露的其余五个面上溅镀金属层,活动平台保护产品侧壁下端和底部锡球不被溅镀;

步骤四、完成溅镀后,四周活动平台下落恢复至原位;

步骤五、使用吸嘴将产品取下完成溅镀。

2.根据权利要求1所述的一种BGA溅镀工艺方法,其特征在于:步骤一中活动平台通过转轴与固定平台侧边相铰接。

3.根据权利要求1所述的一种BGA溅镀工艺方法,其特征在于:步骤一中固定平台和活动平台表面均贴装胶膜。

4.根据权利要求1所述的一种BGA溅镀工艺方法,其特征在于:步骤一中产品放置于治具上时其球面朝下。

5.根据权利要求1所述的一种BGA溅镀工艺方法,其特征在于:步骤一中活动平台为下凹的圆弧形或平面形。

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