[发明专利]一种基于WGM微腔的滤波器的封装结构及封装方法

权利要求书

1.一种基于WGM微腔的滤波器的封装结构，其特征在于，包括封装壳体，还包括密封块、微腔载物台、壳体上盖以及设置在封装壳体内部的中间固定托架，所述微腔载物台固定在封装壳体的内侧，所述密封块设置于所述封装壳体的两端，所述密封块用于穿设耦合器件，所述中间固定托架设置于所述微腔载物台的两侧，所述中间固定托架用于固定所述耦合器件，所述壳体上盖安装在封装壳体上。

2.根据权利要求1所述的一种基于WGM微腔的滤波器的封装结构，其特征在于，所述密封块包括第一块和位于第一块下方的第二块，所述第一块和所述第二块分别活动安装在封装壳体的内侧两端。

3.根据权利要求2所述的一种基于WGM微腔的滤波器的封装结构，其特征在于，所述第二块靠近所述第一块的工作面设置高度与所述中间固定托架对所述耦合器件的固定高度相等。

4.根据权利要求1所述的一种基于WGM微腔的滤波器的封装结构，其特征在于，所述封装壳体由U形型材根据所需长度切割成型。

5.根据权利要求1所述的一种基于WGM微腔的滤波器的封装结构，其特征在于，所述微腔载物台由压电陶瓷构成。

6.根据权利要求1所述的一种基于WGM微腔的滤波器的封装结构，其特征在于，所述微腔载物台与开设在封装壳体上的电驱动接口电连接。

7.一种基于WGM微腔的滤波器的封装方法，利用根据权利要求1-6中任一项所述的基于WGM微腔的滤波器的封装结构，其特征在于，包括：

S1：提供耦合器件，并将所述耦合器件固定在中间固定托架上；

S2：利用密封块进一步固定所述耦合器件，并安装好耦合端口光纤及耦合端口保护套；

S3：在耦合器件的输入输出端口分别连接带有偏振控制器的扫频激光器和探测装置；

S4：将WGM微腔置于外部固定支架；

S5：利用带有手动调节的三维压电位移台整体移动封装壳体，使WGM微腔贴近耦合器件以及微腔载物台，开启扫频激光器，在探测装置中观察透过率的变化，根据所述探测装置的探测结果优化调节偏振控制器和手动调节三维压电位移台的位置，证实在三维压电位移台加载电压的情况下，可以获得所需要的耦合滤波调节效果；

S6：撤去三维压电位移台的电压，然后将WGM微腔利用固化胶粘接于微腔载物台上；

S7：通过电驱动接口为微腔载物台加载不同的电压，使固化的WGM微腔移动位置，证实所需要的带宽调节范围，后撤去电压；

S8：盖上壳体上盖，形成所述的基于WGM微腔的滤波器的封装结构。

8.根据权利要求7所述的一种基于WGM微腔的滤波器的封装方法，其特征在于，所述探测装置为安装有光电探头的示波器。

9.根据权利要求7所述的一种基于WGM微腔的滤波器的封装方法，其特征在于，所述探测装置为光谱分析仪。

10.根据权利要求7所述的一种基于WGM微腔的滤波器的封装方法，其特征在于，整体步骤均在超净环境内进行。