[发明专利]一种透明材料上下表面缺陷的检测方法及设备在审
申请号: | 202110495548.8 | 申请日: | 2021-05-07 |
公开(公告)号: | CN113340920A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 王雷;欧昌东;郑增强 | 申请(专利权)人: | 武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;G01N21/94 |
代理公司: | 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 | 代理人: | 张凯 |
地址: | 430205 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 透明 材料 上下 表面 缺陷 检测 方法 设备 | ||
1.一种透明材料上下表面缺陷的检测方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
使用设置在透明材料上方的检测装置直接检测所述透明材料的上表面缺陷;
使用所述检测装置对设置在所述透明材料下方的反射镜中的透明材料下表面的成像进行对焦,以检测所述透明材料的下表面缺陷。
2.如权利要求1所述的一种透明材料上下表面缺陷的检测方法,其特征在于,所述检测方法还包括:
调节所述反射镜到所述透明材料的距离,以控制所述透明材料下表面在反射镜中的成像到所述检测装置的距离。
3.如权利要求1所述的一种透明材料上下表面缺陷的检测方法,其特征在于,所述使用设置在透明材料上方的检测装置直接检测所述透明材料的上表面缺陷,包括:
将检测装置对焦到所述透明材料的上表面;
开启设置在所述上表面的上方的第一光源,利用检测装置拍摄取图,以检测所述透明材料的上表面的凹坑和/或划痕;
开启设置在所述透明材料水平方向两侧的第二光源,利用检测装置拍摄取图,以检测所述透明材料的上表面的脏污情况。
4.如权利要求3所述的一种透明材料上下表面缺陷的检测方法,其特征在于:
所述第一光源包括成镜像对称设置的至少两个发光源,所述至少两个发光源与所述透明材料之间成一夹角倾斜设置。
5.如权利要求1所述的一种透明材料上下表面缺陷的检测方法,其特征在于,所述使用所述检测装置对设置在所述透明材料下方的反射镜中的透明材料下表面的成像进行对焦,以检测所述透明材料的下表面缺陷,包括:
将检测装置对焦到所述透明材料的下表面在反射镜中的成像;
开启设置在所述下表面的下方的第三光源,利用检测装置拍摄取图,以检测所述透明材料下表面的凹坑和/或划痕;
开启设置在所述透明材料水平方向两侧的第二光源,利用检测装置拍摄取图,以检测所述透明材料下表面的脏污情况。
6.如权利要求1所述的一种透明材料上下表面缺陷的检测方法,其特征在于,所述检测方法还包括:
移动所述检测装置和反射镜,以对所述透明材料的下一区域进行检测。
7.一种透明材料上下表面缺陷的检测设备,其特征在于,包括:
检测装置,其用于设置在待检测的透明材料的上方;
反射镜,其用于设置在所述透明材料的下方;
且所述检测装置用于直接检测所述透明材料的上表面缺陷,并用于对设置在所述透明材料下方的反射镜中的透明材料下表面的成像进行对焦,以检测所述透明材料的下表面缺陷。
8.如权利要求7所述的一种透明材料上下表面缺陷的检测设备,其特征在于:
所述反射镜可调节与所述透明材料之间的距离,以控制所述透明材料下表面在反射镜中的成像到所述检测装置的距离。
9.如权利要求7所述的一种透明材料上下表面缺陷的检测设备,其特征在于:所述检测设备还包括光源组件,所述光源组件包括:
第一光源,其用于设置在所述透明材料的上方;
第二光源,其用于设置在所述透明材料水平方向的两侧;
第三光源,其用于设置在所述透明材料的下方。
10.如权利要求9所述的一种透明材料上下表面缺陷的检测设备,其特征在于:所述第一光源和第三光源均包括成镜像对称设置的至少两个发光源,所述至少两个发光源与所述透明材料之间成一夹角倾斜设置。
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