[发明专利]一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置

说明书

本发明公开了一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，包括底座，底座的顶部活动安装有升降式工作台，升降式工作台的顶部一侧固定安装有载物台，载物台的一侧转动安装有激光操作手臂，激光操作手臂远离载物台的一侧固定安装有电机，电机远离激光操作手臂的一侧固定安装有工作台控制器；底座和升降式工作台之间分别设有若干智能红外感应器，底座的一侧固定安装有激光控制台；载物台的顶部滑动安装有限位组件、底部滑动卡接有收集箱。

技术领域

本发明涉及激光抛光装置技术领域，具体为一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置。

背景技术

经过近20年的发展，国内显示技术已日益成熟，液晶面板也逐步向大尺寸、超高清方向发展。而液晶面板的生产和制造是一个高精密和繁琐的过程，大尺寸TFT-LCD生产线的设备控制难度也逐步增加，这也对设备的维护保养提出了更高的要求。

在液晶显示面板的制造过程中，需要使用化学气相沉积（CVD）工艺来沉积一些功能薄膜。在化学气相沉积过程中，工艺腔的内壁上的薄膜堆积到一定程度就会掉落到玻璃基板上，导致玻璃基板发生不良。为避免不良现象，需要在一定的生产周期后，对工艺腔进行拆解清洗，去除工艺腔内壁上形成的薄膜污染物。

目前常用的去膜抛光方法包括机械法、化学法等。机械法等接触法在加工过程中更容易造成颗粒剥落、划痕等，且对部件材料会产生损耗，剥落的颗粒还可能进入孔隙形成杂质物。化学法等反应抛光的方式不仅会腐蚀背板表面结构，还会腐蚀孔隙，为此我们提出一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置用于解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种面向大尺寸CVD设备背板的精密激光抛光装置，包括底座，所述底座的顶部活动安装有升降式工作台，所述升降式工作台的顶部一侧固定安装有载物台，所述载物台的一侧转动安装有激光操作手臂，所述激光操作手臂远离载物台的一侧固定安装有电机，所述电机远离激光操作手臂的一侧固定安装有工作台控制器；

所述底座和升降式工作台之间分别设有若干智能红外感应器，所述底座的一侧固定安装有激光控制台；

所述载物台的顶部滑动安装有限位组件、底部滑动卡接有收集箱。

优选的，所述升降式工作台的长宽为2~5m，上下可调距离为0.3~1m。

优选的，所述智能红外感应器的高度差为0.01~100mm。

优选的，所述激光操作手臂的加工参数包括：激光波长为100～1200nm，脉冲宽度为10fs～300ns，功率为1-1500W，重复频率为1kHz～9MHz；所述激光操作手臂的激光扫描采用振镜系统进行光束扫描，扫描速度为0.05～10000mm/ s，扫描次数为1～200次；所述激光操作手臂的激光抛光表面粗糙度达到Ra 0 .03μm以下。

优选的，所述限位组件包括两个升降挡边，所述两个升降挡边平行滑动卡接在载物台的顶部两侧，所述升降挡边的两侧分别紧固卡接有从动挡边，所述从动挡边的底部设有凹槽。

优选的，所述升降挡边的两侧内凹设有卡槽，所述从动挡边的两端外凸固定安装有卡块，所述卡块紧固卡接在所述卡槽内，所述升降挡边的两端分别内凹设有设有限位滑槽，所述限位滑槽滑动卡接在所述载物台上，所述升降挡边的底部中段外凸固定安装有齿条，所述齿条啮合连接有传动组件，所述从动挡边的顶部一侧滑动卡接有卡紧块，所述卡紧块远离从动挡边的一端固定安装有防滑橡胶条、另一端固定连接有弹簧并且弹簧固定安装在从动挡边内。