[发明专利]被加工物的激光加工方法

权利要求书

1.一种被加工物的激光加工方法，使用激光加工装置对被加工物进行加工，

该激光加工装置具有：

脉冲激光束照射单元，该脉冲激光束照射单元包含激光振荡器、聚光透镜以及分支单元，该激光振荡器射出对于被加工物具有吸收性的波长的脉冲激光束，该聚光透镜将该脉冲激光束聚光，该分支单元配设在该激光振荡器与该聚光透镜之间，将该脉冲激光束分支成多个脉冲激光束；

卡盘工作台，其对该被加工物进行保持；以及

加工进给单元，其使该卡盘工作台与该聚光透镜在加工进给方向上相对地移动，

其中，

该被加工物的激光加工方法具有如下的激光加工步骤：一边对该卡盘工作台进行加工进给，一边将该脉冲激光束在加工进给方向上分支成多个脉冲激光束而经由该聚光透镜向保持于该卡盘工作台上的该被加工物进行照射，

在该激光加工步骤中，在将被加工物的正面上的该脉冲激光束的分支间隔设为L、将该加工进给单元的加工进给速度除以加工点处的该脉冲激光束的频率而得的值设为S、将n设为任意的整数的情况下，按照满足L≠n×S的方式设定脉冲激光束的分支间隔、该加工进给速度以及该频率。