[发明专利]一种晶圆片厚度分选方法

说明书

本发明的一种晶圆片厚度分选方法，将厚度检测后的晶圆片进行分选存储，存储设备在存放并输送晶圆的输送带的两端分别设有顶部传感器和底部传感器，设有驱动电机用于驱动输送带，当存储设备存储完成后将其中的晶圆片进行搬运时，驱动电机驱动输送带带动晶圆上升，当顶部传感器检测到输送带顶部有晶圆时，顶部传感器发送中断信号给驱动电机，驱动电机停止转动使得晶圆保持在设定高度，此时机械手将顶部的晶圆取走，不断循环完成转移。通过以上的每次晶圆触发顶部传感器发出中断信号使得传送带立即停止，保证晶圆举升高度的一致性。

技术领域

本发明属于晶圆片分选技术领域，具体来说是一种晶圆片厚度分选方法。

背景技术

目前在晶圆片生产和制造中需要进行各种工艺制程流程或分选过程，机械手经常要将晶圆片从存储盒中放入和取出，机械手的片叉需移动到晶圆片存储盒中每一槽中去取或放晶圆片。而使用自动晶圆片存储盒时，机械手只需在自动晶圆片存储盒最上方的槽位取片即可。自动晶圆片存储盒能够自动升降存储盒中的每一槽，可以始终将需要取放的槽位移动至最上方，方便机械手取放晶圆片。机械手的位置精度很高，这样就要求自动晶圆片存储盒举升每槽晶圆片至最上方处也至少同样位置精度，否则就会出现距离过远，机械手无法取走晶圆片；或是距离过近晶圆片被压碎。

自动晶圆片存储盒中的每一槽是由四根可运动的皮带上粘连的齿构成的，伺服电机带动皮带从而使每一槽上升或者下降一格。一方面皮带槽位精度不达标，另一方面由于每个自动晶圆片存储盒的皮带张紧力和安装上有些差异，两方面导致每组自动晶圆片存储盒槽与槽之间间距存在差别。目前的控制方式是将槽与槽的间距认为是相同的，即电机运动一个槽位的距离相同，转化成电机的脉冲值也相同。自动晶圆片存储盒使用的是比较常用的位置控制方式，控制板下发运动到目标位置指令，电机开始旋转，编码器随同一起旋转，编码器旋转的同时会发出脉冲信号，控制板累计该脉冲信号与目标位置值作比较，直到脉冲值等于目标值时，停止发脉冲，电机停止运动。下发相同脉冲量相值，电机运动距离相同，因皮带精度不达标和安装差异存在，导致上升或下降一槽存在差异，无法保证晶圆片举升高度的一致性。

发明内容

1.发明要解决的技术问题

本发明的目的在于解决现有的晶圆片厚度分选系统在进行自动存储的过程中难以保证晶圆片举升高度的一致性的问题。

2.技术方案

为达到上述目的，本发明提供的技术方案为：

本发明的一种晶圆片厚度分选方法，将厚度检测后的晶圆片进行分选存储，存储设备在存放并输送晶圆的输送带的两端分别设有顶部传感器和底部传感器，设有驱动电机用于驱动输送带，当存储设备存储完成后将其中的晶圆片进行搬运时，驱动电机驱动输送带带动晶圆上升，当顶部传感器检测到输送带顶部有晶圆时，顶部传感器发送中断信号给驱动电机，驱动电机停止转动使得晶圆保持在设定高度，此时机械手将顶部的晶圆取走，不断循环完成转移。

优选的，还包括存储设备存放晶圆，机械手将晶圆放置于输送带顶部，顶部传感器检测晶圆存在发送控制信号给驱动电机，驱动电机转动使得输送带带动晶圆下降一个槽位间距。

优选的，所述方法还包括通过底部传感器检测通过的输送带的固定齿的数量，将固定齿的数量与对应的驱动电机的编码器的编码值进行计算相邻固定齿的间距。

优选的，所述方法具体为先通过驱动电机驱动输送带使得所有固定齿都位于底部传感器上方，后驱动电机驱动输送带下降，当底部传感器检测到第一个固定齿时，电机编码值清零，此位置即为零位，随后输送带继续下降使得最后一固定齿被底部传感器检测时停止运动，将固定齿的数量与对应的驱动电机的编码器的编码值进行计算相邻固定齿的间距为槽位间距。

优选的，传送带带动晶圆每次以槽位间距上升，在运动过程中，顶部传感器持续检测，当顶部传感器检测到输送带顶部有晶圆时，顶部传感器发送中断信号给驱动电机；当顶部传感器未检测到输送带顶部有晶圆时，传送带继续以槽位间距进行运动。