[发明专利]一种卧式加热炉管的位置调整装置在审
申请号: | 202110486102.9 | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN113380668A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 姜艳杰;崔伟;王晓飞 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人: | 孙向民;廉莉莉 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 卧式 加热 炉管 位置 调整 装置 | ||
本发明公开了一种卧式加热炉管的位置调整装置,包括:固定板,与机架固定连接;上下调节板,包括水平板和竖直板,竖直板与固定板的侧面在竖直方向上通过竖直导向结构滑动配合;上下调节导向板和竖直调节组件,上下调节导向板与固定板的侧面滑动配合,上下调节导向板位于上下调节板的下方;竖直调节组件用于调节上下调节导向板的在竖直方向上的位置,以带动炉管沿竖直方向移动;左右调节板和水平调节组件,左右调节板通过水平导向结构滑动设置于水平板上,水平调节组件用于调节左右调节板在水平方向上的位置。
技术领域
本发明涉及半导体设备领域,更具体地,涉及一种卧式加热炉管的位置调整装置。
背景技术
近年来,随着光伏行业的发展,电池性能要求日益提高,同时新的电池制备方法不断涌现并日趋成熟。太阳能电池作为可再生的环保能源已经成为世界各国普遍关注和重点发展的新兴产业,为其能在各个领域内更广泛的使用,降低其生产成本势在必行。卧式设备作为生产太阳能电池的关键设备,提高设备使用率,減少维护成本,节约耗材,是降低成本不可或缺的必要环节。光伏卧式设备生产过程中需求量越来越大,各个商家对设备的要求也是越来越严格,由原来的四管到五管,温区越来越长、占地面积越来越大,产量高还是满足不了市场的需求。
新型的背靠背的设备,占地面积小,温区长、产能大,但是设备在装调时候会出现很多困难,炉管的调整就是其中之一。炉管通常安装在机箱骨架上,对于传统设备,如果想快速将炉管调到合适位置,需要四个人或两个人合作来完成,在机箱的两侧,前后两端同时调节,调节时需要有足够的调节空间,所以在设计炉管机箱时要留有调节空间。而新型的背靠背设备,两个机箱中间没有空间进行炉管的调节,炉管调节只能在炉管的一侧、前后两端去调节,原来的调整方式并不适用于新型的背靠背设备。
因此,期待一种卧式加热炉管的位置调整装置,能够快速将炉管调整到合适的位置上,在安装和调试过程中节省了大量的装调时间。
发明内容
本发明的目的是提出一种卧式加热炉管的位置调整装置,能够实现在炉管的单侧、前后两端,快速将炉管调整到合适的位置上。
为了实现上述目的,本发明提供了一种卧式加热炉管的位置调整装置,两个所述调整装置用于对称设置于机架上,且分别支撑所述炉管的两端,所述调整装置包括:
竖向设置的固定板,所述固定板与所述机架固定连接,所述固定板的中部设有用于承载所述炉管的端部的第一承载部;
上下调节板,所述上下调节板包括水平板和竖直板,所述水平板垂直固定于所述竖直板的远离所述固定板一侧的侧面上;所述竖直板与所述固定板的侧面在竖直方向上通过竖直导向结构滑动配合;所述竖直板的中部设有用于承载所述炉管的端部的第二承载部;
上下调节导向板和竖直调节组件,所述上下调节导向板与所述固定板的侧面滑动配合,所述上下调节导向板位于所述上下调节板的下方,所述上下调节导向板的顶部与所述水平板的底面相抵接;所述竖直调节组件用于调节所述上下调节导向板的在竖直方向上的位置,以带动所述炉管沿竖直方向移动;
左右调节板和水平调节组件,所述左右调节板通过水平导向结构滑动设置于所述水平板上,所述左右调节板在中部对称设有两个支撑件,两个所述支撑件分别用于抵接所述炉管的径向两侧;所述水平调节组件用于调节所述左右调节板在水平方向上的位置,以带动所述炉管在沿水平方向移动。
作为可选方案,所述竖直调节组件包括:
固定于所述固定板表面的第一导向块;
设置于所述上下调节导向板上的第一导向孔,所述第一导向块伸入所述第一导向孔中;
第一调节螺杆,所述第一调节螺杆连接所述上下调节导向板和所述第一导向块,通过旋转所述第一调节螺杆,以带动所述上下调节导向板沿所述第一导向孔移动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造