[发明专利]基板载置方法和基板载置机构

权利要求书

1.一种基板载置方法，其是将基板载置于具有载置面的载置台的基板载置方法，该载置面用于载置具有挠性的矩形形状的所述基板，其中，

所述载置面具有与所述基板对应的载置区域，

所述载置台具有：

第1升降销，其以能够突出没入的方式设在所述载置区域的角部；

第2升降销，其以能够突出没入的方式设在所述载置区域的短边中央部；

第3升降销，其以能够突出没入的方式设在所述载置区域的长边中央部；以及

第4升降销，其以能够突出没入的方式设在所述载置区域的表面中央部，

该基板载置方法具有如下工序：

至少在所述第4升降销比所述第3升降销高，所述第2升降销比所述第4升降销高的状态下，利用所述第1升降销～第4升降销支承所述基板的工序；以及

在支承所述基板的工序后，将所述第1升降销～第4升降销收纳于所述载置台而将所述基板载置于所述基板载置区域的工序，

在将所述基板载置于所述载置区域的工序中，

至少，首先将所述基板的长边中央部载置于所述载置面，接着将所述基板的表面中央部载置于所述载置面，接着将所述基板的短边中央部载置于所述载置面。

2.根据权利要求1所述的基板载置方法，其中，

在支承所述基板的工序中，

在所述第1升降销比所述第2升降销高的状态下支承所述基板，

在将所述基板载置于所述载置区域的工序中，

在将所述基板的短边中央部载置于所述载置面后，将所述基板的角部载置于所述载置面。

3.根据权利要求1或2所述的基板载置方法，其中，

在将所述基板载置于所述载置区域的工序中，

在将所述基板的长边中央部载置于所述载置面后，将所述基板的表面中央部载置于所述载置面时，使所述第4升降销下降，并使所述第1升降销以及第2升降销停止。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板载置方法，其中，

所述第1升降销、所述第2升降销、所述第3升降销以及所述第4升降销互相独立地驱动。

5.一种基板载置机构，其中，

该基板载置机构具有：

载置台，其具有用于载置具有挠性的矩形形状的基板的载置面和以能够相对于所述载置面突出没入的方式设置的升降销；

驱动部，其用于驱动所述升降销；以及

控制部，其控制所述驱动部，

所述载置面具有与所述基板对应的载置区域，

所述升降销具有：以能够突出没入的方式设在所述载置区域的角部的第1升降销、以能够突出没入的方式设在所述载置区域的短边中央部的第2升降销、以能够突出没入的方式设为在所述载置区域的长边中央部的第3升降销、以及以能够突出没入的方式设在所述载置区域的表面中央部的第4升降销，

所述控制部控制所述驱动部来执行如下工序：

至少在所述第4升降销比所述第3升降销高，所述第2升降销比所述第4升降销高的状态下，利用所述第1升降销～第4升降销支承所述基板的工序；以及

在支承所述基板的工序后，将所述第1升降销～第4升降销收纳于所述载置台而将所述基板载置于所述基板载置区域的工序，

在将所述基板载置于所述载置区域的工序中，

至少，首先将所述基板的长边中央部载置于所述载置面，接着将所述基板的表面中央部载置于所述载置面，接着将所述基板的短边中央部载置于所述载置面。