[发明专利]一种用于芯片测试的装置在审
申请号: | 202110477244.9 | 申请日: | 2021-04-29 |
公开(公告)号: | CN113376504A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 刘在福;曾昭孔;郭瑞亮;陈武伟 | 申请(专利权)人: | 苏州通富超威半导体有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;G01R1/073 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 芯片 测试 装置 | ||
1.一种用于芯片测试的装置,其特征在于,包括:
测试台,用于承载待测芯片,所述测试台设有通孔;
测试基座,设有与所述通孔固定配合的探针,所述探针伸出于所述通孔,以使所述测试基座与所述待测试芯片能够电连接,
其中,所述测试基座与所述测试台浇铸连接浇铸连接。
2.根据权利要求1所述的用于芯片测试的装置,其特征在于,所述测试基座包括印制电路板,所述印制电路板设置于所述测试台朝向所述测试基座的表面,所述印制电路板设有所述探针,所述探针连接至所述印制电路板且二者相互垂直。
3.根据权利要求2所述的用于芯片测试的装置,其特征在于,所述印制电路板设有若干个所述探针,所述探针矩阵布置。
4.根据权利要求2所述的用于芯片测试的装置,其特征在于,所述探针包括第一端部和第二端部,所述第二端部与所述印制电路板固定连接,至少所述第一端部伸出于所述通孔。
5.根据权利要求1所述的用于芯片测试的装置,其特征在于,绝缘套套设于所述探针伸出于所述通孔的部分,且所述探针远离所述测试基座的端部伸出所述绝缘套。
6.根据权利要求5所述的用于芯片测试的装置,其特征在于,所述绝缘套呈锥状。
7.根据权利要求1所述的用于芯片测试的装置,其特征在于,所述测试台背向所述测试基座的表面设置绝缘层,所述绝缘层的厚度小于所述探针伸出于所述通孔的长度,所述绝缘层设有与所述探针配合的插孔。
8.根据权利要求7所述的用于芯片测试的装置,其特征在于,所述插孔为扩口状。
9.根据权利要求1~8中任一项所述的用于芯片测试的装置,其特征在于,在所述测试基座上通过注塑成型形成所述测试台。
10.根据权利要求9所述的用于芯片测试的装置,其特征在于,所述测试台由树脂材料制成。
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