[发明专利]一种焊接方法及芯片封装方法在审
申请号: | 202110475537.3 | 申请日: | 2021-04-29 |
公开(公告)号: | CN113380636A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 周云;曾昭孔;黄柏荣;卢玉溪 | 申请(专利权)人: | 苏州通富超威半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56;H05K3/34 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 焊接 方法 芯片 封装 | ||
本申请公开了一种焊接方法及芯片封装方法,适用于半导体封装,包括:将待焊接部件和焊接部位进行氧化处理,使得待焊接部件和焊接部位表面形成金属氧化物层;在含有还原性气体的气氛中,将待焊接部件和焊接部位通过回流焊进行焊接,使得待焊接部件和焊接部位紧密结合。本申请的焊接方法通过使用还原性气体,使待焊接部件和焊接部位表面的氧化物在受热过程中发生还原反应,在保证金属散热层可靠焊接的同时,有效避免了现有使用树脂类助焊剂造成芯片成品率低的问题。
技术领域
本发明一般涉及半导体测试技术领域,具体涉及一种焊接方法及芯片封装方法。
背景技术
随着集成电路产业的不断发展和进步,芯片的单片集成度越来越高、功耗越来越大,对于封装技术的要求也越来越高。目前芯片封装过程中为了提高散热性能,一般在芯片和散热罩设置金属层,一方面有利于与散热,另一方面有利于散热罩和芯片的连接。
现有通常使用金属片,例如铟片、锡银片或者其他金属片,为了保证金属层与芯片和散热罩的连接,需要使用树脂类助焊剂去除金属片表面氧化物完成焊接,但是,目前使用的金属片极易氧化,且其表面氧化膜熔点很高,必须使用助焊剂去除氧化膜达到焊接效果,由于无法通过清洗来去除助焊剂残留,助焊剂残留会留在散热罩和芯片中间,在后续产品的使用过程中可能造成产品失效,以及树脂类助焊剂在加热过程中会由于其挥发造成金属飞溅,导致周围的电容、芯片短路,进而影响产品的可靠性;并且,树脂类助焊剂在加热过程中挥发出来的气体会在金属层中形成空洞,影响产品的散热性能效果。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种焊接方法及芯片封装方法,无需使用树脂类助焊剂,在保证金属散热层可靠焊接的同时,避免了树脂类助焊剂影响产品的可靠性。
第一方面,本发明提供一种焊接方法,适用于半导体封装,包括:
将待焊接部件和焊接部位进行氧化处理,使得待焊接部件和焊接部位表面形成金属氧化物层;
在含有还原性气体的气氛中,将待焊接部件和焊接部位通过回流焊进行焊接,使得待焊接部件和焊接部位紧密结合。
作为可选的方案,将待焊接部件和焊接部位进行氧化处理,包括:
将待焊接部件和焊接部位在空气气氛中放置4-8小时。
作为可选的方案,在含有还原性气体的气氛中,将待焊接部件和焊接部位通过回流焊进行焊接,包括:
在140℃-155℃下保温一段时间后,升温至230℃-250℃进行焊接。
作为可选的方案,在230℃-250℃焊接5min-10min。
作为可选的方案,含有还原性气体的气氛为甲酸气体、乙酸气体、氢气中的一种或几种的混合物。
作为可选的方案,甲酸气体为经Pt催化后的甲酸气体。
作为可选的方案,含有还原性气体的流量为35-50sccm。
第二方面,本发明提供一种芯片封装方法,包括:
基板上表面划分为第一区域和包围第一区域的第二区域,在第一区域设置芯片,基板下表面设置锡球层;
将金属散热层设置于芯片表面;
将散热罩盖设在基板上方,且散热罩与金属散热层接触,其中,散热罩为待焊接部件,金属散热层为焊接部位;
通过第一方面的焊接方法对散热罩和金属散热层进行焊接,以使散热罩与基板和金属散热层之间紧密贴合。
作为可选的方案,在对散热罩和金属散热层进行焊接之前,方法还包括:
基板下表面设置锡球层,将锡球层焊接在PCB板上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造