[发明专利]成膜装置以及板

权利要求书

1.一种成膜装置，具备：

成膜室，能够收容基板；

气体供给部，具有：多个喷嘴，设置在上述成膜室的上部，向上述基板的成膜面上供给工艺气体；以及冷却部，抑制上述工艺气体的温度上升；

加热器，将上述基板加热到1500℃以上；以及

板，在上述成膜室内与形成有上述多个喷嘴的第1开口部的上述气体供给部的下表面对置，且与该下表面分离地配置，

上述板包括：

多个第2开口部，具有比上述第1开口部小的直径，在该板面内大致均匀地配置；以及

分隔部，在与上述气体供给部对置的对置面上突出，将上述板的面内分隔为多个区域。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

上述板具有由上述分隔部包围的第1板区域以及处于上述分隔部的外周侧的第2板区域，

从上述气体供给部向上述第1板区域和上述第2板区域以互不相同的浓度或者互不相同的流量供给工艺气体。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

多个上述分隔部在上述对置面上设置成同心圆状。

4.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

上述气体供给部具有用于测定上述成膜室的内部温度的第3开口部，

上述板在与上述第3开口部对置的位置上具有与上述第3开口部相同或者比其大的第4开口部，上述分隔部还设置在上述第4开口部的周围。

5.根据权利要求4所述的成膜装置，其中，

上述分隔部设置在上述第4开口部的周围。

6.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

在上述喷嘴所对置的上述板的对置位置上也设置有上述第2开口部。

7.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

上述气体供给部与上述板之间的间隙为1.0mm～8.0mm，

上述气体供给部与上述分隔部之间的间隙为0.5mm～2mm。

8.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

上述第2开口部的直径为0.5mm～5mm。

9.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，

上述分隔部能够拆装地安装于上述板。

10.根据权利要求9所述的成膜装置，其中，

上述分隔部具有嵌入上述第2开口部的突起部。

11.一种板，与向成膜室内的基板的成膜面上供给气体的气体供给部对置，且与该气体供给部分离地配置，其具备：

多个第2开口部，具有比设置于上述气体供给部且供给上述气体的喷嘴的第1开口部小的直径，且在该板面内大致均匀地配置；以及

分隔部，在与上述气体供给部对置的对置面中突出。

12.根据权利要求11所述的板，其中，

具有由上述分隔部包围的第1板区域以及处于上述分隔部的外周侧的第2板区域。

13.根据权利要求11所述的板，其中，

多个上述分隔部在上述对置面上设置成同心圆状。

14.根据权利要求11所述的板，其中，

上述气体供给部具有用于测定上述成膜室的内部温度的第3开口部，

在与上述第3开口部对置的位置上具有与上述第3开口部相同或者比其大的第4开口部，上述分隔部还设置在上述第4开口部的周围。

15.根据权利要求11所述的板，其中，

在上述喷嘴所对置的上述板的对置位置上也设置有上述第2开口部。

16.根据权利要求11所述的板，其中，

上述分隔部能够拆装地安装于该板。

17.根据权利要求16所述的板，其中，

上述分隔部分别具有嵌入上述第2开口部的突起部。