[发明专利]湿法刻蚀装置及方法

权利要求书

1.一种湿法刻蚀装置，其特征在于，所述装置包括：第一通气子装置、第二通气子装置及反应槽；其中，

所述反应槽，用于盛放用于进行湿法刻蚀的第一液体；

所述第一通气子装置及所述第二通气子装置均设置在所述反应槽中，且均用于向所述反应槽中通入第一气体；通过所述第一气体的气流作用搅动所述第一液体；

所述第一通气子装置开设有多个第一出气口，且输入所述第一通气子装置中的第一气体通过不同位置的第一出气口排出的流速不同；所述第二通气子装置开设有用于排出第一气体的多个第二出气口，通过所述第一通气子装置和所述第二通气子装置的共同作用，使得所述反应槽中各位置处的第一气体的流速差值小于第一预设值。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一通气子装置包括多根第一管路，所述多根第一管路横向并列地设置在所述反应槽底部；所述第一管路具有第一端和第二端，所述第一管路上开设有多个第一出气口，所述第一出气口用于实现将通过所述第一端输入的第一气体输送至所述反应槽内，以搅动所述第一液体；

所述第二通气子装置包括连接的第二管路和第三管路；所述第三管路纵向设置在与所述第一管路两端中靠近第二端的位置；所述第三管路上开设有多个第二出气口，所述第二出气口用于实现将通过第二管路输入第三管路的第一气体输送至所述反应槽内，以使得所述第一管路两端位置处的第一气体的流速差值小于第一预设值。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，连接的所述第二管路和所述第三管路所形成的形状包括T形或L形。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述T形为自第二管路和第三管路连接处第二管路的一端与第三管路的中间位置连接。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述L形为自第二管路和第三管路连接处第二管路的一端与第三管路的一端连接。

6.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第二通气子装置包括一个或多个。

7.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一通气子装置还包括第四管路，所述第四管路与所述多根第一管路的第一端连接；

通过所述第四管路向所述第一管路中通入所述第一气体。

8.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第二通气子装置还包括第五管路，所述第五管路与所述第二管路连接；

通过所述第五管路向所述第二管路中通入所述第一气体。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一通气子装置包括多根第一管路，所述多根第一管路横向并列地设置在所述反应槽底部；所述第一管路具有第一端和第二端，所述第一管路上开设有多个第一出气口，所述第一出气口用于实现将通过所述第一端输入的第一气体输送至所述反应槽内，以搅动所述第一液体；

所述第二通气子装置包括多根第六管路，所述多根第六管路横向并列地设置在所述反应槽底部；所述第六管路具有第三端和第四端，所述第三端与所述第二端位于所述第一管路的同一端；所述第六管路上开设有多个第三出气口，所述第三出气口用于实现将通过所述第三端输入的第一气体输送至所述反应槽内，以使得所述第一管路两端位置处的第一气体的流速差值小于第一预设值。

10.一种湿法刻蚀方法，其特征在于，所述方法基于权利要求1至权利要求9任一项所述的湿法刻蚀装置进行，所述方法包括：

将待处理器件置于反应槽内；

通过第一通气子装置及第二通气子装置向所述反应槽中通入第一气体，以搅动所述第一液体；

通过所述第一通气子装置和所述第二通气子装置的共同作用，使得所述反应槽中各位置处的第一气体的流速差值小于第一预设值。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，

所述第一通气子装置包括多根第一管路，所述多根第一管路横向并列地设置在所述反应槽底部；

所述待处理器件纵向并列设置在所述反应槽中。

12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述待处理器件上形成有堆叠结构、穿过所述堆叠结构的沟道孔以及位于所述沟道孔间且穿过所述堆叠结构的狭缝；所述堆叠结构包括间隔设置的牺牲层和绝缘层；

对待处理器件进行湿法刻蚀时，所述第一液体通过所述狭缝进入所述待处理器件，以使所述牺牲层被去除。