[发明专利]一种单晶硅生产设备

权利要求书

1.一种单晶硅生产设备，其特征在于，包括：炉体(1)，所述炉体(1)内部设置为空腔，所述炉体(1)外壁固定连接有控制装置；

坩埚(2)，所述坩埚(2)安装在所述炉体(1)内底壁上，所述坩埚(2)底部安装有旋转装置，所述旋转装置用于带动坩埚(2)旋转；

热屏装置(3)，所述热屏装置(3)安装在所述炉体(1)内，所述热屏装置(3)位于所述坩埚(2)上侧，所述热屏装置(3)用于单晶硅生产过程中的热屏蔽；

充气装置(4)，所述充气装置(4)安装在所述炉体(1)上，所述充气装置(4)与所述控制装置电连接，所述充气装置(4)用于往炉体(1)内充入气体；

直拉装置(5)，所述直拉装置(5)安装在所述炉体(1)上，所述直拉装置(5)与所述控制装置电连接，所述直拉装置(5)用于单晶硅的直拉生长；

所述热屏装置(3)包括：

内层隔热筒(301)；

外层隔热筒(302)，所述外层隔热筒(302)围绕设置在所述内层隔热筒(301)外侧；

热反射片(303)，所述热反射片(303)固定连接在所述外层隔热筒(302)内侧周壁上；

隔热垫(304)，所述隔热垫(304)固定安装在所述内层隔热筒(301)和所述热反射片(303)之间；

所述热反射片(303)由钼材料制成；

所述充气装置(4)包括：

储气箱(401)，所述储气箱(401)与所述炉体(1)通过进气管(402)连接，所述进气管(402)上安装有电磁阀(403)，所述电磁阀(403)与所述控制装置电连接；

抽气泵(404)，所述抽气泵(404)固定安装在所述炉体(1)顶端，所述抽气泵(404)与所述控制装置电连接，所述抽气泵(404)与所述炉体(1)通过抽气管(405)连接，所述抽气管(405)延伸至所述炉体(1)内侧；

所述直拉装置(5)包括：

机箱(501)，所述机箱(501)固定连接在所述炉体(1)顶壁上，所述机箱(501)内开设有第一腔体(502)；

第一电机(503)，所述第一电机(503)固定连接在所述第一腔体(502)顶壁上，所述第一电机(503)与所述控制装置电连接；

丝杆(504)，所述丝杆(504)一端固定连接在所述第一电机(503)输出端，所述丝杆(504)另一端转动连接在所述第一腔体(502)底壁上；

安装板(505)，所述安装板(505)设有螺纹孔(506)，所述丝杆(504)穿过所述螺纹孔(506)螺纹连接，所述安装板(505)滑动连接在所述第一腔体(502)内侧周壁上；

第二电机(507)，所述第二电机(507)固定连接在所述安装板(505)上，所述第二电机(507)位于所述丝杆(504)一侧，所述第二电机(507)与所述控制装置电连接；

花键轴(508)，所述花键轴(508)一端固定连接在所述第二电机(507)输出端，所述花键轴(508)另一端延伸至所述炉体(1)内；

籽晶(509)，所述籽晶(509)固定连接在所述花键轴(508)远离所述第二电机(507)端；

还包括：搅拌装置(6)，所述搅拌装置(6)安装在所述炉体(1)内，所述搅拌装置(6)包括：

第一传动箱(601)，所述第一传动箱(601)固定连接在所述炉体(1)内侧顶壁上，所述第一传动箱(601)内开设有第一传动腔(602)，所述第一传动腔(602)与所述炉体(1)内部连通；

花键套(603)，所述花键套(603)转动连接在所述第一传动腔(602)内侧壁上，所述花键轴(508)穿过所述花键套(603)连接；

第一齿轮(604)，所述第一齿轮(604)固定连接在所述花键套(603)上；

连接杆(605)，所述花键套(603)穿过所述连接杆(605)中部固定连接，所述连接杆(605)与所述花键套(603)垂直设置，所述连接杆(605)位于所述第一齿轮(604)上侧；

转动轴(606)，所述连接杆(605)两端均转动连接有所述转动轴(606)，所述转动轴(606)延伸至所述坩埚(2)内；

第二齿轮(607)，所述第二齿轮(607)固定连接在所述转动轴(606)上，两个所述第二齿轮(607)均与所述第一齿轮(604)啮合连接；

搅拌扇叶(608)，所述搅拌扇叶(608)固定连接在所述转动轴(606)上，所述搅拌扇叶(608)位于所述坩埚(2)内；

还包括：冷却装置(7)，所述冷却装置(7)安装在所述炉体(1)内，所述冷却装置(7)包括：

环形安装架(701)，所述环形安装架(701)固定安装在所述内层隔热筒(301)内侧壁上，所述环形安装架(701)内开设有第一环形腔(702)；

环形安装箱(703)，所述环形安装箱(703)转动连接在所述环形安装架(701)内侧壁上，所述环形安装箱(703)开设有第二环形腔(704)，所述转动轴(606)穿过所述第二环形腔(704)设置，所述花键轴(508)穿过所述环形安装箱(703)内侧设置；

第一斜齿轮(705)，所述第一斜齿轮(705)固定连接在所述转动轴(606)上，所述第一斜齿轮(705)位于所述第二环形腔(704)内；

第二斜齿轮(706)，所述第二斜齿轮(706)啮合连接在所述第一斜齿轮(705)侧；

连接轴(707)，所述连接轴(707)一端固定连接在所述第二斜齿轮(706)上，所述环形安装箱(703)内侧周壁开设有吹风腔(708)，所述连接轴(707)另一端延伸至所述吹风腔(708)内；

风扇(709)，所述风扇(709)固定连接在所述连接轴(707)远离所述第二斜齿轮(706)端；

通风口(710)，所述环形安装箱(703)开设有所述通风口(710)，所述通风口(710)对应设置在所述连接轴(707)一侧，所述通风口(710)与所述第二环形腔(704)和所述环形安装箱(703)内侧连通，

连接管(711)，所述连接管(711)安装在所述内层隔热筒(301)内侧，所述连接管(711)一端与所述第一环形腔(702)连通，所述连接管(711)另一端延伸至所述内层隔热筒(301)下侧，并靠近敞口设置。