[发明专利]一种微波吸收材料及其制备方法有效
申请号: | 202110453500.0 | 申请日: | 2021-04-26 |
公开(公告)号: | CN113151796B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 付慧清;曾国勋;吴起白;张海燕;钟宇峰 | 申请(专利权)人: | 广东工业大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/22;H05K9/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 黄忠 |
地址: | 510060 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微波 吸收 材料 及其 制备 方法 | ||
本申请属于微波吸收材料的技术领域,尤其涉及一种微波吸收材料及其制备方法。本申请提供了一种微波吸收材料的制备方法,包括:步骤1、将铁磁粉体吸附在磁控溅射仪中,利用第一靶材和第二靶材于所述铁磁粉体表面进行磁控溅射沉积,得到多层介质包覆的铁磁粉体复合材料;所述第一靶材选自金属介质型材料;所述第二靶材选自介电型材料;步骤2、将所述多层介质包覆的铁磁粉体复合材料进行氧化处理,得到多层电介质材料包覆铁磁粉体的微波吸收材料。本申请提供了一种微波吸收材料及其制备方法,能有效解决现有铁磁微波吸收材料电磁参数调节难的问题。
技术领域
本申请属于微波吸收材料的技术领域,尤其涉及一种微波吸收材料及其制备方法。
背景技术
随着现代科学技术的快速发展,无线技术在电子设备上的大量运用已引起电磁波干扰(EMI)污染,这不仅干扰了电子设备的运行,而且还威胁着人类的健康。例如在机场、飞机航班因电磁波干扰无法起飞而误点;在医院、移动电话常会干扰各种电子诊疗仪器的正常工作。因此,为了解决这些日益严重的电磁污染问题,寻找一种能抵挡并削弱电磁波辐射的材料已成为迫切需要解决的问题。而微波吸收材料是解决这一问题的有效方法,它将电磁能转换为热能或其他形式能量使其消散,目前已成为材料科学的一大热门创新应用领域。
按材料的性质不同,可以将微波吸收材料分为介电型和磁介质型微波吸收材料。金属微粉、铁氧体等,属于磁介质型微波吸收材料,磁介质型损耗微波吸收材料损耗机制是一类和铁磁性介质的动态磁化过程有关的磁损耗,主要通过铁磁共振吸收来衰减能量。但磁介质材料介电常数很高,不利于阻抗匹配,质量大等缺点。而介电型微波吸收材料具有较高的介电损耗正切值,依靠介质的电子极化或界面极化衰减来吸收电磁波。因此这类材料的微波吸收效率通常与材料的电导率有关。介电型微波吸收材料弥补了磁介质型微波吸收材料的一些缺陷,具有质量轻、稳定性好、微波吸收效果好等优点。
目前铁磁作为微波吸收材料仍存在很多挑战,铁基软磁非晶合金、特别是纳米晶合金存在延性低、脆性大的问题,饱和磁感强度Bs仍偏低,综合磁学性能仍有待进一步提升。非晶合金/纳米晶合金的微波吸收材料普遍存在硬度高、较脆、加工较困难、加工效率不高,包覆厚度不易控制等缺陷。因此,开发一种制备工艺简单高效,使用方便且易于控制厚度,且更有效的提高介电性能和磁性能的微波吸收材料及其制备方法具有重要的研究意义和应用价值。
发明内容
有鉴于此,本申请提供了一种微波吸收材料及其制备方法,能有效解决现有铁磁微波吸收材料电磁参数调节难的问题。
本申请第一方面提供了一种微波吸收材料的制备方法,包括:
步骤1、将铁磁粉体吸附在磁控溅射仪中,利用第一靶材和第二靶材于所述铁磁粉体表面进行磁控溅射沉积,得到多层介质材料包覆的铁磁粉体复合材料;所述第一靶材选自金属介质型材料;所述第二靶材选自电介质型材料;
步骤2、将所述铁磁粉体复合材料进行氧化处理,得到多层电介质材料包覆铁磁粉体的微波吸收材料。
另一是实施例中,所述第一靶材选自钛、锌、钴和镍中的一种或多种。
另一是实施例中,所述第二靶材选自碳、碳化硅和钛酸钡中的一种或多种。
具体的,本申请的制备方法通过磁控溅射在铁磁粉体表面沉积一层同时具有金属介质型材料和电介质型材料的复合介质膜;也可以通过磁控溅射在铁磁粉体表面先沉积一层金属介质型材料,然后再沉积一层电介质型材料,最后制得沉积多层介质膜包覆铁磁粉体的微波吸收材料;也可以通过磁控溅射在铁磁粉体表面先沉积一层电介质型材料,然后再沉积一层金属介质型材料,最后制得沉积多层介质膜包覆铁磁粉体的微波吸收材料。
另一是实施例中,步骤1具体包括:
1.1、将铁磁粉体放在磁控溅射仪中,利用第一靶材于所述铁磁粉体表面进行磁控溅射沉积,得到第一靶材包覆的铁磁粉体材料;
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