[发明专利]一种低辐射镀膜玻璃及其制备方法

说明书

本申请涉及镀膜玻璃领域，具体公开了一种低辐射镀膜玻璃及其制备方法。低辐射镀膜玻璃包括玻璃基板和依次溅射设于玻璃基板上的ZnOx膜、Ag膜、NiCr薄膜和SiNx膜；其制备方法为：清洗玻璃基板，干燥；将镀膜室抽真空，使镀膜室真空度为2*10^‑2托，充入氧气，使用锌铝靶材，在玻璃基板上沉积ZnOx膜；充入氩气，使用镍铬靶材和银靶材，在ZnOx膜上依次沉积NiCr薄膜、Ag膜和NiCr薄膜；充入氮气，使用硅铝靶材，在NiCr薄膜上沉积SiNx膜，得低辐射镀膜玻璃。本申请的低辐射镀膜玻璃具有使用寿命长的优点；制备方法使得各膜层能够均匀的附着在玻璃基板上，使得镀膜玻璃具有较优的低辐射、耐磨性能。

技术领域

本申请涉及镀膜玻璃领域，更具体地说，它涉及一种低辐射镀膜玻璃及其制备方法。

背景技术

镀膜玻璃又称为反射玻璃，通过在玻璃基板表面涂镀一层或多层金属，以使玻璃具有隔热、低辐射性能。镀膜玻璃的优点是能够有效反射阳光、有效降低室内或车内温度，经镀膜后的玻璃易清洗，不易沾染灰尘，是目前汽车和房屋建造中广泛使用的玻璃产品。

理想的镀膜玻璃应具有较优的隔热、低辐射性能，在长时间使用下，玻璃基板表面的膜层应稳定的附着在玻璃基板表面，而在实际使用中，随着使用时间的延长，玻璃基板表面的膜层容易出现“掉膜”现象，严重影响了镀膜玻璃的使用性能。

发明内容

为了提高膜层在玻璃基板表面的附着牢固性，本申请提供一种低辐射镀膜玻璃及其制备方法。

第一方面，本申请提供一种低辐射镀膜玻璃，采用如下的技术方案：

一种低辐射镀膜玻璃，包括玻璃基板和依次溅射设于玻璃基板上的ZnOx膜、Ag膜、NiCr薄膜和SiNx膜。

通过采用上述技术方案，ZnOx膜作为玻璃基板上的第一层膜，可降低日光中可见光和部分红外线的反射，同时能够稳定附着在玻璃基板表面，提高了玻璃基板上的膜层整体的附着力，降低了玻璃基板上的膜层出现掉膜的可能性；Ag膜作为反射长波热能的主要功能膜，赋予了低辐射镀膜玻璃隔热、低辐射的性能，同时，由于银质软，不耐磨，NiCr薄膜可保护Ag膜；SiNx膜质硬耐磨，具有较优的耐磨和抗划伤性能，且化学稳定性和抗高温氧化能力优，能够从表层降低膜层出现掉膜的可能性，从而整体上使得镀膜玻璃在长时间使用过程中都具有较优的使用性能。

优选的，所述Ag膜与ZnOx膜之间设有NiCr薄膜。

通过采用上述技术方案，利用Ag膜两侧的NiCr薄膜进行保护Ag膜，降低Ag膜出现损伤的可能性。

优选的，所述NiCr薄膜的厚度为6-10nm。

通过采用上述技术方案，特定的厚度使得NiCr薄膜能够发挥更优的保护ZnOx膜和Ag膜的效果。

优选的，所述SiNx膜的厚度为30-40nm，Ag膜的厚度为8-10nm，NiCr薄膜的厚度为6-10 nm，ZnOx膜的厚度为20-30 nm。

通过采用上述技术方案，特定的厚度使得SiNx膜、Ag膜、NiCr薄膜和ZnOx膜在发挥各自的功能之外，相互之间可达到较佳的配合。

第二方面，本申请提供一种低辐射镀膜玻璃的制备方法，采用如下的技术方案：

一种低辐射镀膜玻璃的制备方法，包括如下步骤：

S1、清洗玻璃基板，干燥；

S2、将镀膜室抽真空，使镀膜室真空度为2*10^-2托，充入氧气，使用锌铝靶材，在玻璃基板上沉积ZnOx膜；充入氩气，使用镍铬靶材和银靶材，在ZnOx膜依次沉积NiCr薄膜、Ag膜和NiCr薄膜；充入氮气，使用硅铝靶材，在NiCr薄膜上沉积SiNx膜；

S3、检验，得低辐射镀膜玻璃。