[发明专利]树脂模塑装置在审
申请号: | 202110432539.4 | 申请日: | 2021-04-21 |
公开(公告)号: | CN113561396A | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 藤沢雅彦;斎藤裕史 | 申请(专利权)人: | 山田尖端科技株式会社 |
主分类号: | B29C43/18 | 分类号: | B29C43/18;B29C43/32;B29C43/58;B29C43/52;H01L21/56 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本长野县*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树脂 装置 | ||
1.一种树脂模塑装置,其特征在于,包括:
模塑模具,对载体内侧搭载了电子零件的工件进行树脂模塑;及
装载机,搬送所述工件;且
所述装载机包括:卡盘,与所述工件的下表面的外缘部接触分离;移动装置,使所述卡盘移动;及框体,与所述工件的上表面的外缘部接触分离;以至少在搬送时可由所述卡盘与所述框体夹持所述工件的方式构成。
2.根据权利要求1所述的树脂模塑装置,其特征在于:
进而包括控制所述框体的移动的控制部,
所述控制部对所述框体抵接于所述工件时的推压力进行控制。
3.根据权利要求1所述的树脂模塑装置,其特征在于:
所述卡盘为在相对于所述工件的所述外缘部隔开间隔的多点位置抵接并支撑的结构。
4.根据权利要求3所述的树脂模塑装置,其特征在于:
所述卡盘的结构为:设置于一边的多个卡盘爪在后端侧一体构成,并且所述卡盘爪相对于所述工件的俯视投影面可一体地进入及退避。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂模塑装置,其特征在于:
所述移动装置的结构为:以所述卡盘可获得进入所述工件的俯视投影面内且以不抵接所述工件的侧方外周部的方式以规定间隙接近的位置、及离开所述工件的俯视投影面内的位置的方式进行水平移动、旋转移动、或所述水平移动和所述旋转移动的组合移动。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂模塑装置,其特征在于:
进而包括预加热台,进行所述工件的预加热,
所述预加热台具有在使所述工件的下表面抵接的状态下使所述卡盘退避的退避槽。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂模塑装置,其特征在于:
所述卡盘以俯视下成为环状的配置而设置。
8.根据权利要求1至4中任一项所述的树脂模塑装置,其特征在于:
所述卡盘及所述框体以与外径不同的多种所述工件相对应的多种的组合的形式设置,
所述装载机以可进行所述各组合的拆装及动作的方式构成。
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