[发明专利]一种在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法有效
| 申请号: | 202110431808.5 | 申请日: | 2021-04-21 |
| 公开(公告)号: | CN113141722B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
| 发明(设计)人: | 陈志特;王华;甘泉 | 申请(专利权)人: | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06;H05K1/02;H05K1/03 |
| 代理公司: | 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 | 代理人: | 成伟 |
| 地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 玻璃 基板上 通过 曝光 原理 形成 接驳 线路 方法 | ||
1.一种在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法,所述玻璃基板包括有A面、B面和侧面,在A面具有A面线路,在B面具有B面线路,其特征在于:通过光刻头沿A面、B面及侧面曝光形成有接驳线路,由接驳线路将A面线路与B面线路实现电性互接,曝光形成接驳线路的实施过程按以下步骤进行,
S1、将玻璃基板表面清洗干净,在玻璃基板的表面镀一层导电材料,然后使用带线路的掩膜配合UV油墨通过曝光—显影—蚀刻工艺,使玻璃基板的A面形成A面线路、B面形成B面线路;
S2、在一张掩膜上制作好线路,然后制作成可以包住玻璃基板A面、B面和侧面待曝光区域的包边掩膜;
S3、将包边掩膜贴包在玻璃基板的A面、B面和侧面的待曝光区域,并使包边掩膜上的线路两端分别与A面线路和B面线路对接;
S4、将玻璃基板连同包边掩膜一起放入真空吸附腔体中;
S5、将光刻头伸入真空吸附腔体中对准包边掩膜进行曝光,利用玻璃基板的透光性,使光线同时照射贴附在A面、B面及侧面部位的包边掩膜,从而分别在玻璃基板的A面曝光出A面接驳部,在玻璃基板的B面曝光出B面接驳部,在玻璃基板的侧面曝光出侧面接驳部;A面接驳部、侧面接驳部及B面接驳部依次连接形成完整的接驳线路,由接驳线路分别连接A面线路和B面线路;
S6、将玻璃基板从真空吸附腔体取出,将包边掩膜去除。
2.根据权利要求1所述的在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法,其特征在于:所述A面与所述B面相互平行,曝光形成的接驳线路呈C形结构。
3.根据权利要求1所述的在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法,其特征在于:所述A面接驳部沿最短的路线从A面线路延伸至玻璃基板侧面边缘,所述B面接驳部沿最短的路线从B面线路延伸至玻璃基板侧面边缘。
4.根据权利要求1所述的在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法,其特征在于:该玻璃基板的厚度为0.1-1mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东科视光学技术股份有限公司,未经广东科视光学技术股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110431808.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种便于练习攻栏腿压栏动作的跨栏
- 下一篇:一种混动汽车电池包加热系统





