[发明专利]一种在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法有效

专利信息
申请号: 202110431808.5 申请日: 2021-04-21
公开(公告)号: CN113141722B 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 陈志特;王华;甘泉 申请(专利权)人: 广东科视光学技术股份有限公司
主分类号: H05K3/06 分类号: H05K3/06;H05K1/02;H05K1/03
代理公司: 东莞市中正知识产权事务所(普通合伙) 44231 代理人: 成伟
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 玻璃 基板上 通过 曝光 原理 形成 接驳 线路 方法
【权利要求书】:

1.一种在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法,所述玻璃基板包括有A面、B面和侧面,在A面具有A面线路,在B面具有B面线路,其特征在于:通过光刻头沿A面、B面及侧面曝光形成有接驳线路,由接驳线路将A面线路与B面线路实现电性互接,曝光形成接驳线路的实施过程按以下步骤进行,

S1、将玻璃基板表面清洗干净,在玻璃基板的表面镀一层导电材料,然后使用带线路的掩膜配合UV油墨通过曝光—显影—蚀刻工艺,使玻璃基板的A面形成A面线路、B面形成B面线路;

S2、在一张掩膜上制作好线路,然后制作成可以包住玻璃基板A面、B面和侧面待曝光区域的包边掩膜;

S3、将包边掩膜贴包在玻璃基板的A面、B面和侧面的待曝光区域,并使包边掩膜上的线路两端分别与A面线路和B面线路对接;

S4、将玻璃基板连同包边掩膜一起放入真空吸附腔体中;

S5、将光刻头伸入真空吸附腔体中对准包边掩膜进行曝光,利用玻璃基板的透光性,使光线同时照射贴附在A面、B面及侧面部位的包边掩膜,从而分别在玻璃基板的A面曝光出A面接驳部,在玻璃基板的B面曝光出B面接驳部,在玻璃基板的侧面曝光出侧面接驳部;A面接驳部、侧面接驳部及B面接驳部依次连接形成完整的接驳线路,由接驳线路分别连接A面线路和B面线路;

S6、将玻璃基板从真空吸附腔体取出,将包边掩膜去除。

2.根据权利要求1所述的在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法,其特征在于:所述A面与所述B面相互平行,曝光形成的接驳线路呈C形结构。

3.根据权利要求1所述的在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法,其特征在于:所述A面接驳部沿最短的路线从A面线路延伸至玻璃基板侧面边缘,所述B面接驳部沿最短的路线从B面线路延伸至玻璃基板侧面边缘。

4.根据权利要求1所述的在玻璃基板上通过曝光机曝光原理形成接驳线路的方法,其特征在于:该玻璃基板的厚度为0.1-1mm。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东科视光学技术股份有限公司,未经广东科视光学技术股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110431808.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top