[发明专利]一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110418044.6 申请日: 2021-04-19
公开(公告)号: CN113044816B 公开(公告)日: 2022-11-29
发明(设计)人: 不公告发明人 申请(专利权)人: 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
主分类号: C01B21/072 分类号: C01B21/072
代理公司: 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 代理人: 荣玲
地址: 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** 国省代码: 黑龙江;23
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 氮化 晶体生长 多孔 原料 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤一、配制浆料:

将粘接剂溶解于去离子水中,加入分散剂搅拌均匀得到浆料;

步骤二、球磨处理:

将氮化铝粉料加入步骤一所得浆料中,搅拌均匀后进行球磨得到混合浆料;

步骤三、冻干处理:

将步骤二所得混合浆料注入模具中,-60℃条件下冷冻固化、脱模并置于-60℃进行升华干燥;

步骤四、烧结、酸洗处理:

步骤三所得冻干材料经烧结、酸洗,得到多孔氮化铝原料;

所述步骤一浆料中粘接剂的浓度为1~5wt%,分散剂的浓度为1~5wt%;

所述步骤二所述氮化铝粉料与浆料的质量体积比为5g:1mL~10g:1mL。

2.根据权利要求1所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,所述粘接剂为聚乙烯醇、琼脂糖、海藻酸钠,所述分散剂为HPMA、聚丙烯胺、硬脂酸钠。

3.根据权利要求2所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤二中所述氮化铝粉料为经过抗水解预处理的氮化铝粉料,所述抗水解预处理的具体方法是将氮化铝粉体浸入质量浓度为1~6%的Al(H2PO4)3溶液浸泡1~3h。

4.根据权利要求1所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤二所述球磨处理的球磨转速为60~100rpm,球磨时间为12~24h。

5.根据权利要求4所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤三所述升华干燥的处理时间为24~48h。

6.根据权利要求5所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤四所述烧结处理是以5℃/min的升温速度升温至1450℃保温2h。

7.根据权利要求6所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤四所述酸洗是在40~50℃条件下用酸液将烧结后材料酸洗3~8h,所述酸液为HF与HNO3按体积比1:2配制的混合酸。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司,未经哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110418044.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top