[发明专利]一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法有效
申请号: | 202110418044.6 | 申请日: | 2021-04-19 |
公开(公告)号: | CN113044816B | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
主分类号: | C01B21/072 | 分类号: | C01B21/072 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 荣玲 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区智谷二街3*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 晶体生长 多孔 原料 制备 方法 | ||
1.一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤一、配制浆料:
将粘接剂溶解于去离子水中,加入分散剂搅拌均匀得到浆料;
步骤二、球磨处理:
将氮化铝粉料加入步骤一所得浆料中,搅拌均匀后进行球磨得到混合浆料;
步骤三、冻干处理:
将步骤二所得混合浆料注入模具中,-60℃条件下冷冻固化、脱模并置于-60℃进行升华干燥;
步骤四、烧结、酸洗处理:
步骤三所得冻干材料经烧结、酸洗,得到多孔氮化铝原料;
所述步骤一浆料中粘接剂的浓度为1~5wt%,分散剂的浓度为1~5wt%;
所述步骤二所述氮化铝粉料与浆料的质量体积比为5g:1mL~10g:1mL。
2.根据权利要求1所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,所述粘接剂为聚乙烯醇、琼脂糖、海藻酸钠,所述分散剂为HPMA、聚丙烯胺、硬脂酸钠。
3.根据权利要求2所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤二中所述氮化铝粉料为经过抗水解预处理的氮化铝粉料,所述抗水解预处理的具体方法是将氮化铝粉体浸入质量浓度为1~6%的Al(H2PO4)3溶液浸泡1~3h。
4.根据权利要求1所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤二所述球磨处理的球磨转速为60~100rpm,球磨时间为12~24h。
5.根据权利要求4所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤三所述升华干燥的处理时间为24~48h。
6.根据权利要求5所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤四所述烧结处理是以5℃/min的升温速度升温至1450℃保温2h。
7.根据权利要求6所述一种氮化铝晶体生长用多孔氮化铝原料的制备方法,其特征在于,步骤四所述酸洗是在40~50℃条件下用酸液将烧结后材料酸洗3~8h,所述酸液为HF与HNO3按体积比1:2配制的混合酸。
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