[发明专利]树脂模塑装置在审

专利信息
申请号: 202110417041.0 申请日: 2021-04-19
公开(公告)号: CN113707572A 公开(公告)日: 2021-11-26
发明(设计)人: 藤沢雅彦;斎藤裕史 申请(专利权)人: 山田尖端科技株式会社
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 日本长野县*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 树脂 装置
【说明书】:

本发明提供一种树脂模塑装置,所述树脂模塑装置在搬送薄型大型尺寸的工件时,即便尺寸公差或刚性不同,也可位置不偏移地保持,而可不损失平坦度且不破损地向模塑模具搬送。本发明的树脂模塑装置在装载机(4)对用预加热部(10)对准的工件(W)进行保持时,根据工件(W)的外形位置与基准位置的X‑Y方向的位置偏移量,使装载机抓手(4b)的中心位置与工件(W)的中心位置对位后保持。

技术领域

本发明涉及一种将在薄板状载体搭载了电子零件的工件搬入模塑模具并压缩成形的树脂模塑装置。

背景技术

作为薄板状载体的一例,提出了一种搬送装置,所述搬送装置防止导线架因弯曲引起的掉落而将其向模塑模具搬送。将相向配置的定位销插入定位孔,将止动销嵌入嵌合孔,由支承部从下方支撑导线架,而避免导线架从各销脱落(参照专利文献1:日本专利特开2018-22730号公报)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2018-22730号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

上述专利文献1所示的搬送装置是以下技术:假定若将作为工件的导线架架设于嵌入定位孔的定位销与嵌入嵌合孔的止动销之间,则导线架会因自重而弯曲,并且为了避免掉落,而由支承部从下方支撑。如上所述,由于在作为通常的模塑用载体的导线架等设置有定位孔,故而可确定导线架相对于模具的位置。

此处,在将例如在500mm见方左右的薄型大型尺寸的载体(铜板、玻璃板等)搭载了电子零件的工件向模塑模具供给时,存在以下情形:由于载体的刚性极弱或为脆性材,故而设置定位孔原本就困难,或者由于尺寸大,所以加热时的延展大,难以利用定位孔与设置于模具的定位销进行定位。此处,也考虑例如利用工件的外形进行定位,但由于加热时工件的延展变大,故而也存在难以将工件载置于模具而使工件与模具的中心对准的情形。

[解决问题的技术手段]

本发明是鉴于所述情况而完成,其目的在于提供一种树脂模塑装置,所述树脂模塑装置在搬送薄型大型尺寸的工件时,即便尺寸公差大、或者工件的线膨胀系数不同,也可位置不偏移地保持,而可向模塑模具搬送。

为了达成所述目的,本发明包括以下结构。

一种树脂模塑装置,将在载体搭载了电子零件的工件向模塑模具搬送而进行树脂模塑,所述树脂模塑装置的特征在于包括:工件对准部,将保持于台上的工件的姿态整理成基准位置;及装载机抓手机构,保持用所述工件对准部对准的工件并向所述模塑模具搬送;且所述装载机抓手机构包括:装载机抓手(loader hand),夹住所述台上的工件并保持;位置检测部,检测于所述装载机抓手中的工件的外形位置与基准位置的位置偏移;及对位机构,根据所述位置检测部检测到的位置偏移量使所述装载机抓手的中心位置与工件的中心位置在X-Y方向上对位。

根据所述结构,在装载机抓手机构保持用工件对准部对准的工件时,根据工件的外形位置与基准位置的X-Y方向的位置偏移量使装载机抓手的中心位置与工件的中心位置对位后保持,因此即便在搬送薄型大型尺寸的工件时尺寸公差大、或者工件的线膨胀系数不同,也可位置不偏移地保持并向模塑模具搬送。

优选所述工件对准部将所述工件压抵于沿着X-Y方向分别设置的基准模块(reference blocks),而将所述工件的姿态整理成基准位置。由此,可将工件的姿态确实地整理成基准位置。

所述位置检测部可包括摄像机,读取载置于台上的工件的外形坐标,而检测与表示基准位置的定位标记(对准标记)的X-Y方向的位置偏移,也可包括多台摄像机,检测处于工件外形的对角位置的坐标,而检测与虚拟台中心位置的X-Y方向的位置偏移。

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