[发明专利]一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置

说明书

本发明实施例提供了一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置，晶圆良率问题数据库为预先建立的，其中包括多个失效类别及其相关的失效特征和对应的指证性数据，该方法包括：在多个第一晶圆图中确定存在预定的失效模式的若干第二晶圆图；提取第二晶圆图的第一失效特征，据以确定第二晶圆图的第一失效类别；根据第一失效类别和多个失效类别的失效特征的相似度，确定多个失效类别中的若干第二失效类别、以及第一失效类别与第二失效类别的失效特征匹配数量；根据第一失效类别和第二失效类别的指证性数据的相似度，确定第一失效类别与各第二失效类别的指证性数据匹配数量；根据失效特征和指证性数据匹配数量，对若干第二失效类别进行第一排序并展示。

技术领域

本发明涉及芯片制造领域，尤其涉及一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置。

背景技术

在半导体芯片制造过程中，由于各种偏离正常制程的意外(excursion)原因，会产生低于基准良率的具有良率故障的晶圆产品。通常由良率工程师依据故障晶圆的失效特征进行分析调查，寻找问题产生的原因并尽快修复解决。在这一过程中速度极为重要，早一个小时找到问题并解决，就能挽救生产线上一个小时内通过的产品的良率问题。良率工程师在发现有良率故障的晶圆时，常常基于过往经验和推测，先对相关数据进行分析和核对，期望在最短时间内找到问题原因。而良率工程师的经验往往只局限于个人经历的近期发生的良率故障问题，不能系统性涵盖整个生产线上过往发生的所有问题，因此搜索匹配的效率不高，容易遗漏问题从而耽误时间造成损失。

发明内容

本发明的实施例提供一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置。该方法中对于存在预定失效模式的待查晶圆图，提取失效特征并据以得到待确定失效类别，然后，将待确定失效类别的相关失效特征与预先建立的晶圆良率问题数据库中各已知失效类别相关的失效特征进行匹配，以及将待确定失效类别的指示性数据，与上述晶圆良率问题数据库中已知失效问题的指示性数据进行匹配，结合上述两种匹配的结果，从数据库中获取待确定失效类别可能匹配的已知良率失效类别的排序列表。利用该方法，可以大大提高追查良率问题的效率和能力。

本发明为解决上述技术问题采用的技术方案为，一方面提供一种晶圆良率问题数据库的搜索方法，所述晶圆良率问题数据库为预先建立的，其中包括多个失效类别、以及多个失效类别相关的失效特征和对应的指证性数据，所述方法包括：

在多个第一晶圆图中，确定其中存在预定的失效模式的若干第二晶圆图；

提取所述若干第二晶圆图中的若干第一失效特征；

根据所述第一失效特征,确定各第二晶圆图的第一失效类别；

根据所述第一失效类别相关的第一失效特征，和所述多个失效类别相关的失效特征的相似度，确定所述多个失效类别中的若干第二失效类别、以及所述第一失效类别分别与各个第二失效类别的失效特征匹配数量；

获取所述第一失效类别对应的指证性数据；

根据所述第一失效类别对应的指证性数据，和各个第二失效类别对应的指证性数据的相似度，确定第一失效类别分别与各个第二失效类别的指证性数据匹配数量；

根据所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量，对所述若干第二失效类别进行第一排序；

按第一排序的结果，展示所述若干第二失效类别。

优选地，根据所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量，对所述若干第二失效类别进行第一排序，包括：

根据所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量的加权和，对所述若干第二失效类别进行第一排序。

具体地，所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量的加权和中，所述指证性数据匹配数量的权重值高于所述失效特征匹配数量。