[发明专利]一种晶圆良率问题数据库的搜索方法和装置

权利要求书

1.一种晶圆良率问题数据库的搜索方法，所述晶圆良率问题数据库为预先建立的，其中包括多个失效类别、以及多个失效类别相关的失效特征和对应的指证性数据，所述方法包括：

在多个第一晶圆图中，确定其中存在预定的失效模式的若干第二晶圆图；

提取所述若干第二晶圆图中的若干第一失效特征；

根据所述第一失效特征,确定各第二晶圆图的第一失效类别；

根据所述第一失效类别相关的第一失效特征，和所述多个失效类别相关的失效特征的相似度，确定所述多个失效类别中的若干第二失效类别、以及所述第一失效类别分别与各个第二失效类别的失效特征匹配数量；

获取所述第一失效类别对应的指证性数据；

根据所述第一失效类别对应的指证性数据，和各个第二失效类别对应的指证性数据的相似度，确定第一失效类别分别与各个第二失效类别的指证性数据匹配数量；

根据所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量，对所述若干第二失效类别进行第一排序；

按第一排序的结果，展示所述若干第二失效类别。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，根据所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量，对所述若干第二失效类别进行第一排序，包括：

根据所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量的加权和，对所述若干第二失效类别进行第一排序。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量的加权和中，所述指证性数据匹配数量的权重值高于所述失效特征匹配数量。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述失效特征包括，失效功能的组成特征、失效图案形状特征、失效位置特征、失效图案的发生次数特征中一种或多种。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，根据所述第一失效类别相关的第一失效特征，和所述多个失效类别相关的失效特征的相似度，确定所述多个失效类别中的若干第二失效类别、以及所述第一失效类别分别与各个第二失效类别的失效特征匹配数量，包括：

根据所述第一失效类别相关的第一失效特征，和所述多个失效类别相关的失效特征的相似度，确定所述多个失效类别中的多个第三失效类别、以及所述第一失效类别分别与各个第三失效类别的失效特征匹配数量；

根据所述失效特征匹配数量，对多个第三失效类别进行第二排序；

将按第二排序的次序前预定数量的所述第三失效类别作为第二失效类别。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括，

按第二排序的结果，展示所述多个第三失效类别。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，按第一排序的结果，展示所述若干第二失效类别，包括，

按第一排序的结果，展示所述若干第二失效类别以及其对应的指示性数据，

和/或

展示所述若干第二失效类别对应的人工备注信息。

8.根据权利要求1所述的方法，还包括，

根据所述指证性数据匹配数量，对若干第二失效类别进行第三排序；

按第三排序的结果，展示所述若干第二失效类别。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括，

根据所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量，确定是否将所述第一失效类别作为新的失效类别添加到所述晶圆良率问题数据库中。

10.一种晶圆良率问题数据库的搜索装置，所述晶圆良率问题数据库为预先建立的，其中包括多个失效类别、以及多个失效类别相关的失效特征和对应的指证性数据，所述装置包括：

失效模式探索单元，配置为，在多个第一晶圆图中，确定其中存在预定的失效模式的若干第二晶圆图；

失效特征确定单元，配置为，提取所述若干第二晶圆图中的若干第一失效特征；

第一失效类别确定单元，配置为，根据所述第一失效特征,确定各第二晶圆图的第一失效类别；

失效特征匹配数量确定单元，配置为，根据所述第一失效类别相关的第一失效特征，和所述多个失效类别相关的失效特征的相似度，确定所述多个失效类别中的若干第二失效类别、以及所述第一失效类别分别与各个第二失效类别的失效特征匹配数量；

指证性数据获取单元，配置为，获取所述第一失效类别对应的指证性数据；

指证性数据匹配数量确定单元，配置为，根据所述第一失效类别对应的指证性数据，和各个第二失效类别对应的指证性数据的相似度，确定第一失效类别分别与各个第二失效类别的指证性数据匹配数量；

排序单元，配置为，根据所述失效特征匹配数量和指证性数据匹配数量，对所述若干第二失效类别进行第一排序；

结果展示单元，配置为，按第一排序的结果，展示所述若干第二失效类别。