[发明专利]真空镀膜装置

权利要求书

1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括腔体、承载单元及至少一个导电单元，其中：

所述腔体具有第一侧壁、第二侧壁及与所述第二侧壁相对设置的第三侧壁，所述第一侧壁连接所述第二侧壁及所述第三侧壁，所述第一侧壁上开设有入口；

所述承载单元可移动地通过所述入口输送至所述腔体内，且包括托盘及嵌设于所述托盘上的多个基板；

所述导电单元设置于所述第二侧壁或所述第三侧壁上，且在靠近所述入口上方一侧具有伸入至腔体内部的接触组件，所述接触组件可抵接于所述托盘上，且在抵接时电性连接。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述接触组件为柔性导电体，且为导电弹簧、导电片、高弹性导电弹簧中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述第二侧壁与所述第三侧壁对称连接于所述第一侧壁，所述接触组件为两组，且分别位于所述第二侧壁与第三侧壁上。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述导电单元还包括电源输出组件与馈入电极，所述电源输出组件位于所述腔体外部，所述馈入电极嵌设于所述第二侧壁或第三侧壁上，其一端与所述电源输出组件电连接，另一端与所述接触组件电连接。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，还包括传动单元，所述传动单元与所述承载单元滚动接触，用于驱动所述承载单元在所述腔体内部移动。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述传动单元包括主动轮及与所述主动轮平行设置的从动轮，所述主动轮与所述托盘滚动接触，所述从动轮与所述托盘滚动接触。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述主动轮与所述从动轮上均设置有绝缘O型圈，所述绝缘O型圈与所述托盘滚动接触。

8.根据权利要求6所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述传动单元还包括第一传动轴、第二传动轴及套设于所述第一传动轴上的磁流体，所述磁流体嵌设于所述腔体上，所述第一传动轴与所述主动轮紧固连接为一体，所述第二传动轴与所述从动轮可转动连接为一体。

9.根据权利要求8所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述传动单元还包括第一绝缘件与第二绝缘件，所述第一绝缘件与所述主动轮紧固连接为一体，且罩设于所述第一传动轴并与所述第一传动轴预留有间隙，所述第二绝缘件与所述从动轮紧固连接为一体，且罩设于所述第二传动轴并与所述第二传动轴预留有间隙。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述从动轮与所述第二传动轴之间设置有轴承，且所述轴承为陶瓷轴承。