[发明专利]基于量子限制斯塔克效应的光开关有效

专利信息
申请号: 202110403020.3 申请日: 2021-04-15
公开(公告)号: CN113130696B 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 张家雨;陈伟敏;项文斌 申请(专利权)人: 东南大学
主分类号: H01L31/109 分类号: H01L31/109;G02F1/35;H01L31/0296;H01L31/0352;H01L31/18
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 任志艳
地址: 211189 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 基于 量子 限制 斯塔克效应 开关
【权利要求书】:

1.一种基于量子限制斯塔克效应的光开关的制备方法,其特征在于,具体包括如下步骤:

步骤1,在石英衬底上刻蚀交叉指型电极;

步骤2,在交叉电极之间沉积有序取向的II-VI族半导体纳米片NPLs层,所述有序取向是指纳米片面朝下,其中两侧边缘分别朝向正负电极,所述II-VI族半导体纳米片为CdSe/CdS纳米片,且为核/壳异质结构的CdSe/CdS纳米片。

2.根据权利要求1所述一种基于量子限制斯塔克效应的光开关的制备方法,其特征在于,步骤1中在石英衬底上刻蚀交叉指型电极,具体过程为:

对石英衬底烘烤脱水,在石英衬底上涂光刻胶,用掩膜版挡住衬底进行曝光、显影,用高真空镀膜机镀金属膜;清洗掉光刻胶得到周期性的电极结构,即交叉指型电极,交叉指型电极的两侧有金属线引出端,用于连接外部电压的正负极。

3.根据权利要求1所述一种基于量子限制斯塔克效应的光开关的制备方法,其特征在于,步骤2中核/壳异质结构的CdSe/CdS纳米片的制备过程如下:

步骤2.1,CdSe核纳米片的制备;

Se前驱体的制备:Se粉和十八烯加入玻璃瓶中;用聚四氟乙烯塞封口密封,超声后得到Se粉悬浊液体;

Cd前驱体的制备:氧化镉、油酸和十八烯加入三口烧瓶;磁力搅拌的条件下,通入氩气进行鼓泡除气,升温至240℃,直至溶液从浑浊变成无色透明,再降温至60℃;将透明前驱体溶液转移至玻璃取样瓶中,用聚四氟乙烯塞封口密封,通入氩气除气;

S前驱体的制备:辛硫醇和十八烯加入玻璃取样瓶;用聚四氟乙烯塞封口密封,通入氩气除气,摇晃使充分混合;

将氧化镉、十四酸、十八烯加入三口烧瓶;磁力搅拌的条件下,通入氩气进行鼓泡除气,在110℃温度下除气30min; 继续升温至285℃,直至溶液无色透明,再降温至90℃;注入Se前驱体溶液,再次除气;升温至195℃时,加入醋酸镉;继续升温至240℃,反应得到CdSe核纳米片;快速降至室温,当温度降至180℃时注入油酸;用正己烷-乙醇混合溶液离心提纯,最后将沉淀分散在正己烷中;

步骤2.2,CdSe/CdS核/壳纳米片的制备

取CdSe纳米片、Cd前驱体溶液和十八烯加入三口烧瓶;磁力搅拌的条件下,通入氩气鼓泡除气,室温除气40 min;升温至80℃继续除气20 min;在氩气保护下,设置300℃升温;温度升至180℃时,注入油胺;同时,硫前驱通过注射泵开始注入,速度为3 mL h-1;前驱体注入完成后,保持在300℃退火10 min;冷却至室温,在温度降至240℃时加入正己烷,降温至180℃时加入油酸;用甲醇进行原位提纯两次,去除溶液中过多的十八烯;加入正己烷-乙醇混合溶液离心提纯,将制备好的CdSe/CdS核/壳纳米片分散在正己烷中。

4.根据权利要求1所述一种基于量子限制斯塔克效应的光开关的制备方法,其特征在于,步骤2中在交叉电极之间沉积有序取向的II-VI族半导体纳米片NPLs层,具体为:

1)在聚四氟乙烯井内放置上交叉电极作为基板;

2)将油酸/二甘醇(OA / DEG)溶液加入井中,然后加入CdSe/CdS核/壳纳米片正己烷溶液;

3)用玻璃培养皿覆盖聚四氟乙烯井以减慢正己烷蒸发的速度;

4)己烷溶剂完全蒸发后,缓慢排出二甘醇DEG,使自组装膜沉积在基质上,纳米片面朝下,两侧边缘分别朝向正负电极。

5.根据权利要求1所述一种基于量子限制斯塔克效应的光开关的制备方法,其特征在于,电极间距为几个微米量级。

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