[发明专利]助溶剂法单晶生长井式炉在审
申请号: | 202110398536.3 | 申请日: | 2021-04-13 |
公开(公告)号: | CN112921391A | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 王渊;刘健慧;廖奕;郝占阳;梅佳伟;陈朝宇 | 申请(专利权)人: | 南方科技大学 |
主分类号: | C30B9/12 | 分类号: | C30B9/12 |
代理公司: | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人: | 曾敬 |
地址: | 518055 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 溶剂 法单晶 生长 井式炉 | ||
1.助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于包括加热炉和位于加热炉下端的离心机,加热炉底部与离心机顶部以活动的离心机隔热块相间隔,离心机隔热块固定连接在直线电机的直线电机杆上,直线电机杆与轮之间形成传动机构,所述轮带动旋转机构旋转,在所述旋转机构上设置有夹具,离心机隔热块以及离心机杯均处于所述夹具的旋转范围内。
2.根据权利要求1所述的助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于,所述传动机构为齿轮齿条机构。
3.根据权利要求2所述的助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于,所述齿轮齿条机构包括:在直线电机杆上间隔设置有若干齿状物,在所述轮的外边缘间隔设置有若干凸齿,所述齿状物与所述凸齿相互啮合。
4.根据权利要求1所述的助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于,在所述旋转机构上设置有控制夹具开合的触发机构,该触发机构根据所述旋转机构的旋转角度启动。
5.根据权利要求4所述的助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于,所述旋转机构包括钩状物,该钩状物固结在所述轮上,所述夹具位于该钩状物的末端,所述轮套接在一固定杆上,在该固定杆上固结有凸轮,凸轮位于所述钩状物内部,在所述夹具上具有控制其开合的按钮,在所述钩状物内部具有沿滑道滑动的触压杆,所述触压杆连接在弹簧上,所述触压杆的一端位于所述按钮上方,所述触压杆的另一端位于所述凸轮的旋转范围内。
6.根据权利要求5所述的助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于,所述夹具包括两个夹持臂,所述两个夹持臂通过旋转副连接,并通过旋转副固定于所述钩状物内,在两个夹持臂上分别开设有滑槽,夹持两个夹持臂的块体上设置有柱体并位于滑槽内,在所述块体的侧方设置有挂钩和钩块,钩块即为所述按钮。
7.根据权利要求1所述的助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于,还包括钽管,容纳有样品的玻璃管被装载于所述钽管中,在所述钽管的外壁上具有环形槽,所述钽管被放置于所述离心机隔热块上。
8.根据权利要求1所述的助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于,在所述离心机隔热块的上端设置有容纳槽。
9.根据权利要求1所述的助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于,活动的离心机隔热块与固定的加热炉隔热块采用迷宫结构嵌合。
10.根据权利要求1所述的助溶剂法单晶生长井式炉,其特征在于,离心机隔热块通过楔形块与直线电机杆固定连接。
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