[发明专利]一种半导体引线框架的叠装装置有效
| 申请号: | 202110386622.2 | 申请日: | 2021-04-12 |
| 公开(公告)号: | CN112802786B | 公开(公告)日: | 2021-06-25 |
| 发明(设计)人: | 王秋明;贺国东;赵文全;温正萍;邹佩纯;赵雪 | 申请(专利权)人: | 四川旭茂微科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司: | 成都诚中致达专利代理有限公司 51280 | 代理人: | 曹宇杰 |
| 地址: | 625700 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体 引线 框架 装置 | ||
1.一种半导体引线框架的叠装装置,其特征在于,包括:
第一直线机构(100),其一端设有堆垛机构(200),另一端设有焊盘缓存机构(300),所述第一直线机构(100)从所述焊盘缓存机构(300)一端向所述堆垛机构(200)一端依次设有焊盘安装工位(110)、第一组装工位(120)、第二组装工位(130)以及成品堆放工位(140),所述堆垛机构(200)设于所述成品堆放工位(140)上方,所述第一直线机构(100)滑动设有运转板(150),所述运转板(150)用于安装及转运焊盘(10),所述焊盘(10)顶面用于承载底层引线框架;
所述堆垛机构(200)设有四组旋转挡块(210),所述第一直线机构(100)两侧各设有两组,用于支撑所述焊盘(10),所述旋转挡块(210)后段设有转轴,转轴的轴线与所述第一直线机构(100)平行,前段沿转轴的轴线方向投影视图为三角型结构,前段底面为斜面;当所述旋转挡块(210)支撑所述焊盘(10)时,所述旋转挡块(210)的顶面处于水平状态,前段的底面倾斜朝向所述第一直线机构(100);所述堆垛机构(200)还设有一对举升板(220),用于向上举升经所述运转板(150)转移至所述堆垛机构(200)下方的所述焊盘(10),所述第一直线机构(100)两侧各设有一块所述举升板(220);
所述旋转挡块(210)顶面竖直向上开设有定位槽(211),所述焊盘(10)底面对应所述定位槽(211)均设有衬垫(11);
所述堆垛机构(200)还包括一对连接杆(230),所述连接杆(230)设于所述第一直线机构(100)的两侧,并且均与所述第一直线机构(100)平行,所述连接杆(230)顶面沿长度方向加工有T型槽,每根所述连接杆(230)均滑动连接两根立柱(240),所述立柱(240)位于所述旋转挡块(210)的两侧,所述立柱(240)设于堆垛后的所述焊盘(10)的两侧;
第二直线机构(400),与所述第一直线机构(100)平行设置,所述第二直线机构(400)对应所述第一组装工位(120)设有第一出料工位(410)、对应所述第二组装工位(130)设有第二出料工位(420);
第三直线机构(500),设有底层框架吸盘(520),利用所述底层框架吸盘(520)将底层引线框架从所述第一出料工位(410)水平转移至第一组装工位(120);
旋转机构(600),设有旋转吸盘(610),所述旋转吸盘(610)的转轴与所述第一直线机构(100)平行,所述旋转吸盘(610)顶面用于承载顶层引线框架,所述旋转吸盘(610)利用真空吸附所述顶层引线框架;所述旋转机构(600)设有支撑杆(620),所述支撑杆(620)顶部设有矩形块(621),所述旋转吸盘(610)底面对应所述矩形块(621)加工有矩形槽(611),当所述旋转吸盘(610)旋转至顶面朝上的位置时,即放置顶层引线框架时,所述矩形块(621)嵌设于所述矩形槽(611)内,所述旋转吸盘(610)的底面与所述支撑杆(620)顶面接触;
第四直线机构(700),设有顶层框架吸盘(710),当所述旋转吸盘(610)的顶面朝上时,利用所述顶层框架吸盘(710)将顶层引线框架从所述第二出料工位(420)水平转移至所述旋转吸盘(610)的顶面;所述旋转吸盘(610)绕转轴旋转180°之后,所述旋转吸盘(610)的顶面朝下,并位于所述第二组装工位(130)上方,此时顶层引线框架重合在底层引线框架上;
焊盘安装机构(800),其包括第五直线机构(810)、第二直线电机(820)以及焊盘吸盘(830),所述第二直线电机(820)连接于所述第五直线机构(810),所述第二直线电机(820)在所述第五直线机构(810)上往复移动,移动方向与所述第一直线机构(100)平行;所述焊盘吸盘(830)连接于所述第二直线电机(820),所述焊盘吸盘(830)在所述第二直线电机(820)上沿竖直方向往复移动;利用所述焊盘安装机构(800)将所述焊盘(10)从所述焊盘缓存机构(300)转移安装至位于所述焊盘安装工位(110)的运转板(150)上,所述焊盘吸盘(830)采用真空吸管吸取焊盘(10);
所述焊盘缓存机构(300)设有定位杆(310),所述定位杆(310)位于所述焊盘吸盘(830)从所述焊盘安装工位(110)向所述焊盘缓存机构(300)移动方向的末端,所述定位杆(310)与所述焊盘吸盘(830)的侧面接触,所述焊盘吸盘(830)的侧面对应所述定位杆(310)的位置加工有限位槽,所述焊盘吸盘(830)移动至所述焊盘缓存机构(300)上方时,所述定位杆(310)嵌设于所述限位槽内,所述定位杆(310)下段穿设有感应开关,用于检测焊盘(10)的在位信号,所述定位杆(310)与所述焊盘(10)的侧壁之间具有间隔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





