[发明专利]一种光路准直调试系统和光路准直调试方法有效
申请号: | 202110385348.7 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN113109030B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
发明(设计)人: | 虞天成;徐佳维;王俊;潘华东;俞浩;闵大勇;廖新胜 | 申请(专利权)人: | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 薛异荣 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光路准直 调试 系统 方法 | ||
一种光路准直调试系统和光路准直调试方法,光路准直调试系统包括:光源;反射式布拉格光栅,所述反射式布拉格光栅的衍射角度可调;位于所述光源和所述反射式布拉格光栅之间的准直透镜,所述准直透镜沿光路上的位置可调;位于所述反射式布拉格光栅一侧的探测单元;所述反射式布拉格光栅适于接收被所述准直透镜准直之后的光并衍射至探测单元。所述光路准直调试系统评判光束的准直性的准确性提高。
技术领域
本发明涉及光学测试领域,具体涉及一种光路准直调试系统和光路准直调试方法。
背景技术
在激光应用过程中,通常需要对激光束进行准直,准直效果会直接影响激光的应用效果,因此,如何评判准直效果,成为激光应用过程中较为关键的一环。
目前,现有技术中尽管存在多种对于光路的准直效果进行测试的方法,但是检测结果的准确性有待提高。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中评判光束准直性的准确性较差的问题。
为了解决上述技术问题,本发明提供一种光路准直调试系统,包括:光源;反射式布拉格光栅,所述反射式布拉格光栅的衍射角度可调;位于所述光源和所述反射式布拉格光栅之间的准直透镜,所述准直透镜沿光路上的位置可调;位于所述反射式布拉格光栅一侧的探测单元;所述反射式布拉格光栅适于接收被所述准直透镜准直之后的光并衍射至探测单元。
可选的,所述准直透镜包括第一子准直透镜和第二子准直透镜;第一子准直透镜位于第二子准直透镜和所述光源之间,第一子准直透镜对光的准直方向和第二子准直透镜对光的准直方向不同。
可选的,所述探测单元适于输出电信号。
可选的,所述探测单元包括光功率计或光电转换探测器。
可选的,所述探测单元适于输出图像信号,所述探测单元包括图像传感器。
本发明还提供一种光路准直调试方法,采用本发明的光路准直调试系统,包括:所述反射式布拉格光栅接收经过准直透镜的光并衍射至探测单元;调节所述反射式布拉格光栅的衍射角度直至所述探测单元判断出反射式布拉格光栅的衍射效率达到第一极大值;调节所述反射式布拉格光栅的衍射角度之后,沿着光的传播光路上调节所述准直透镜的位置直至所述探测单元判断出反射式布拉格光栅的衍射效率达到第二极大值。
可选的,所述探测单元输出电信号;在调节所述反射式布拉格光栅的衍射角度的过程中,当所述探测单元输出的电信号达到第一电信号极大值时,反射式布拉格光栅的衍射效率达到第一极大值;沿着光的传播光路上调节所述准直透镜的位置的过程中,当所述探测单元输出的电信号达到第一电信号极大值时,反射式布拉格光栅的衍射效率达到第二极大值。
可选的,所述探测单元输出图像信号;在调节所述反射式布拉格光栅的衍射角度的过程中,当所述探测单元输出的图像面积达到第一面积极大值时,反射式布拉格光栅的衍射效率达到第一极大值;沿着光的传播光路上调节所述准直透镜的位置的过程中,当所述探测单元输出的图像面积达到第二面积极大值时,反射式布拉格光栅的衍射效率达到第二极大值。
可选的,还包括:所述反射式布拉格光栅接收经过准直透镜的光并衍射至探测单元之前,所述准直透镜对所述光源发射的光进行初步准直。
可选的,所述准直透镜对所述光源发射的光进行初步准直的方法包括:在所述准直透镜的出射光的方向上设置观测件;调节所述准直透镜沿着光的传播光路上的位置,直至从所述准直透镜出射的光在观测件上的投影面积达到投影面积极大值。
本发明技术方案,具有如下优点:
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