[发明专利]一种光路准直调试系统和光路准直调试方法有效
| 申请号： | 202110385348.7 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113109030B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 虞天成;徐佳维;王俊;潘华东;俞浩;闵大勇;廖新胜 | 申请（专利权）人： | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光路准直 调试 系统 方法 | ||
1.一种光路准直调试方法，包括：
提供光路准直调试系统，所述光路准直调试系统包括：光源；反射式布拉格光栅，所述反射式布拉格光栅的衍射角度可调；位于所述光源和所述反射式布拉格光栅之间的准直透镜，所述准直透镜沿光路上的位置可调；位于所述反射式布拉格光栅一侧的探测单元；所述反射式布拉格光栅适于接收被所述准直透镜准直之后的光并衍射至探测单元；
所述反射式布拉格光栅接收经过准直透镜的光并衍射至探测单元；
所述反射式布拉格光栅接收经过准直透镜的光并衍射至探测单元之前，所述准直透镜对所述光源发射的光进行初步准直；
调节所述反射式布拉格光栅的衍射角度直至所述探测单元判断出反射式布拉格光栅的衍射效率达到第一极大值；
调节所述反射式布拉格光栅的衍射角度之后，沿着光的传播光路上调节所述准直透镜的位置直至所述探测单元判断出反射式布拉格光栅的衍射效率达到第二极大值。
2.根据权利要求1所述的光路准直调试方法，其特征在于，所述探测单元输出电信号；
在调节所述反射式布拉格光栅的衍射角度的过程中，当所述探测单元输出的电信号达到第一电信号极大值时，反射式布拉格光栅的衍射效率达到第一极大值；
沿着光的传播光路上调节所述准直透镜的位置的过程中，当所述探测单元输出的电信号达到第一电信号极大值时，反射式布拉格光栅的衍射效率达到第二极大值。
3.根据权利要求1所述的光路准直调试方法，其特征在于，所述探测单元输出图像信号；
在调节所述反射式布拉格光栅的衍射角度的过程中，当所述探测单元输出的图像面积达到第一面积极大值时，反射式布拉格光栅的衍射效率达到第一极大值；
沿着光的传播光路上调节所述准直透镜的位置的过程中，当所述探测单元输出的图像面积达到第二面积极大值时，反射式布拉格光栅的衍射效率达到第二极大值。
4.根据权利要求1所述的光路准直调试方法，其特征在于，所述准直透镜对所述光源发射的光进行初步准直的方法包括：在所述准直透镜的出射光的方向上设置观测件；调节所述准直透镜沿着光的传播光路上的位置，直至从所述准直透镜出射的光在观测件上的投影面积达到投影面积极大值。
5.根据权利要求1所述的光路准直调试方法，其特征在于，所述准直透镜包括第一子准直透镜和第二子准直透镜；第一子准直透镜位于第二子准直透镜和所述光源之间，第一子准直透镜对光的准直方向和第二子准直透镜对光的准直方向不同。
6.根据权利要求1所述的光路准直调试系统，其特征在于，所述探测单元适于输出电信号，所述探测单元包括光功率计或光电转换探测器。
7.根据权利要求1所述的光路准直调试系统，其特征在于，所述探测单元适于输出图像信号，所述探测单元包括图像传感器。
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