[发明专利]一种多通道半导体晶圆筛选设备

说明书

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种多通道半导体晶圆筛选设备。包括设备机架、设置在设备机架内的工作平台、安装在设备平台上的若干料盒、检测单元、以及机械手搬运装置，所述机械手搬运装置设置在所述工作平台的一端，所述检测单元设置在所述工作平台的另一端，所述机械手搬运装置与所述检测单元对应设置，所述料盒围绕着所述机械手搬运装置设置。本发明的有益之处：采用光学检测晶圆的缺陷，并根据检测结果将晶圆分类放置，设备检测分类上料可自动化运行，无需人工，可提高生产效率降低生产成本。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种多通道半导体晶圆筛选设备。

背景技术

晶圆缺陷检测是保证产品良率的重要的步骤之一，对于检测精度和速度有较高要求，目前国内通常采用进口设备，因进口设备价格高昂，交期长，无法满足国内快速反应的生产节奏。

现有技术的缺点：

1)晶圆测试机不稳定，误判率高；2)难以检测微小缺陷；3)料盒只能存放少量晶圆，需人工频繁更换料盒，影响检测效率。

发明内容

本发明的目的是，提供一种多通道半导体晶圆筛选设备，以克服目前现有技术存在的上述不足。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种多通道半导体晶圆筛选设备，其特征在于：包括设备机架、设置在设备机架内的工作平台、安装在设备平台上的若干料盒、检测单元、以及机械手搬运装置，所述机械手搬运装置设置在所述工作平台的一端，所述检测单元设置在所述工作平台的另一端，所述机械手搬运装置与所述检测单元对应设置，所述料盒围绕着所述机械手搬运装置设置；

所述检测单元包括检测单元固定安装座、设置在检测单元固定安装座上的旋转电机、设置在旋转电机端部的旋转载台、设置在检测单元固定安装座端部的感应器安装块、设置在所述感应器安装块上的缺陷检测器以及设置在所述感应器安装块上的位置补正器，所述缺陷检测器对应着所述旋转载台设置，所述位置补正器设置在所述旋转载台的上方位置，所述旋转载台中开设有吸附孔；

所述料盒上均设置有光纤传感器；

所述机械手搬运装置包括设置在工作平台上的Z轴控制机、连接于在Z轴控制机上的第一轴、连接于第一轴上的第二轴、连接于第二轴上的第三轴、以及连接于在第三轴上的机械夹爪，所述机械夹爪上设置有检测传感器。

优选的，所述设备机架上设置有触摸屏、控制按钮以及旋转开关。

优选的，所述机械夹爪上设置有真空吸盘。

优选的，所述料盒包括放料盒和废料盒。

本发明的有益效果是：本发明结构简单，采用光学检测晶圆的缺陷，并根据检测结果将晶圆分类放置，设备检测分类上料可自动化运行，无需人工，可提高生产效率降低生产成本；采用四轴机器手，该机械手重复定位精度能够达到0.1mm，洁净度ISO 1级，抓手上装有真空吸盘，可以在取到物品后快速移动到下一工位，具有高精度、高稳定性、高洁净度以及节省空间；料盒设计成多层状结构，一次可存放多块晶圆，该结构可以很大程度节省产品存储体积，将设备空间利用的更加充足，设备做到更紧凑。

附图说明

图1为本发明一种多通道半导体晶圆筛选设备的俯视图；

图2为本发明一种多通道半导体晶圆筛选设备的侧视图；

图3为本发明一种多通道半导体晶圆筛选设备的机械手搬运装置示意图；

图4为本发明一种多通道半导体晶圆筛选设备的料盒示意图；

图5为本发明一种多通道半导体晶圆筛选设备的检测单元示意图；