[发明专利]一种多通道半导体晶圆筛选设备

权利要求书

1.一种多通道半导体晶圆筛选设备，其特征在于：包括设备机架、设置在设备机架内的工作平台、安装在设备平台上的若干料盒、检测单元、以及机械手搬运装置，所述机械手搬运装置设置在所述工作平台的一端，所述检测单元设置在所述工作平台的另一端，所述机械手搬运装置与所述检测单元对应设置，所述料盒围绕着所述机械手搬运装置设置；

所述检测单元包括检测单元固定安装座、设置在检测单元固定安装座上的旋转电机、设置在旋转电机端部的旋转载台、设置在检测单元固定安装座端部的感应器安装块、设置在所述感应器安装块上的缺陷检测器以及设置在所述感应器安装块上的位置补正器，所述缺陷检测器对应着所述旋转载台设置，所述位置补正器设置在所述旋转载台的上方位置，所述旋转载台中开设有吸附孔；

所述料盒上均设置有光纤传感器；

所述机械手搬运装置包括设置在工作平台上的Z轴控制机、连接于在Z轴控制机上的第一轴、连接于第一轴上的第二轴、连接于第二轴上的第三轴、以及连接于在第三轴上的机械夹爪，所述机械夹爪上设置有检测传感器。

2.根据权利要求1所述的一种多通道半导体晶圆筛选设备，其特征在于：所述设备机架上设置有触摸屏、控制按钮以及旋转开关。

3.根据权利要求1所述的一种多通道半导体晶圆筛选设备，其特征在于：所述机械夹爪上设置有真空吸盘。

4.根据权利要求1所述的一种多通道半导体晶圆筛选设备，其特征在于：所述料盒包括放料盒和废料盒。