[发明专利]一种CVD尾气管道清洗装置

说明书

本申请实施例公开了一种CVD尾气管道清洗装置及清洗方法。所述清洗装置设置于真空泵和尾气处理装置之间，所述清洗装置包括：主管道，所述主管道上设置有两个第一阀门，分别设置于所述主管道的两端；第一进口管道和出口管道，设置于所述两个第一阀门之间的所述主管道上；所述第一进口管道和所述出口管道分别与所述主管道流体连接；所述第一进口管道上设置有第二阀门，所述出口管道上设置有第三阀门；所述第一进口管道设置于所述主管道的上方；所述出口管道设置于所述主管道的下方。本申请管道清洗装置，可以直接清洗真空泵至尾气处理装置的管路内的粉末，不用拆管，减少清洗时间，减少了人力和物力投入，提升了清洗效率，进而提高了产能。

技术领域

本申请涉及CVD尾气管道领域，具体涉及一种CVD尾气管道清洗装置。

背景技术

SiN_X和SiO_X采用PECVD成膜，成膜时会生产大量硅系粉末。因管道温度相对低，粉末会附着在管道壁。随着时间增长，粉末堆积越来越厚，容易出现管道堵塞。尤其是真空泵(Pump)至尾气处理装置(Scrubbber)之间的管路，由于其管径相对制程腔体与真空泵之间的管径要细，更容易发生堵塞。硅系粉末遇水就溶，实际生产中，真空泵至尾气处理装置之间的管道需定期拆下清洗，以避免管道堵塞。清洗时只需将管道浸泡在水中一段时间，用水冲洗管道，粉末就可被清理干净。清洗干净后的管道再重新安装，最后恢复生产。管道从拆卸至复机期间，设备无法生产。并且由于管道粉末生成快，每两至三个月左右需清洗管道一次，造成产能损失。

在对现有技术的研究和实践过程中，本申请的发明人设计一种免拆卸即可水洗的CVD尾气管道清洗装置，可以先让管道粉末溶于水并随着水排走。

发明内容

本申请实施例提供一种CVD尾气管道清洗装置，免拆卸即可水洗的CVD尾气管道清洗装置，提高产能。

本申请实施例提供一种CVD尾气管道清洗装置，所述清洗装置设置于真空泵和尾气处理装置之间，所述清洗装置包括：

主管道，用以连通所述真空泵和所述尾气处理装置；所述主管道上设置有两个第一阀门，分别设置于所述主管道的两端；所述两个第一阀门分别控制所述真空泵和所述尾气处理装置与所述主管道的连通；

第一进口管道和出口管道，设置于所述两个第一阀门之间的所述主管道上；所述第一进口管道和所述出口管道分别与所述主管道流体连接；所述第一进口管道上设置有第二阀门，所述出口管道上设置有第三阀门；其中，所述第二阀门和所述第三阀门调节所述第一进口管道、所述主管道和所述出口管道形成的腔室内的流体运动；

所述第一进口管道设置于所述主管道的上方；所述出口管道设置于所述主管道的下方。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述清洗装置中，通过所述第一进口管道向所述主管道通入液体或气体。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述清洗装置中，通过所述出口管道排空所述主管道内的液体或气体。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述清洗装置还设置有一第二进口管道，所述第二进口管道与所述主管道流体连接，所述第二进口管道上设置有第四阀门。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述第二进口管道设置于所述主管道的上方。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述第二进口管道设置于所述第一进口管道上，所述第二进口管道和所述主管道的连通点与所述第一进口管道和所述主管道的连通点的位置相同。

可选的，在本申请的一些实施例中，所述第二进口管道设置于所述第二阀门和所述主管道之间的第一进口管道上。

相应的，本申请实施例还提供一种CVD尾气管道清洗方法，包括如下步骤：