[发明专利]一种CVD尾气管道清洗装置

权利要求书

1.一种CVD尾气管道清洗装置，所述清洗装置设置于真空泵和尾气处理装置之间，其特征在于，所述清洗装置包括：

主管道，用以连通所述真空泵和所述尾气处理装置；所述主管道上设置有两个第一阀门，分别设置于所述主管道的两端；所述两个第一阀门分别控制所述真空泵和所述尾气处理装置与所述主管道的连通；

第一进口管道和出口管道，设置于所述两个第一阀门之间的所述主管道上；所述第一进口管道和所述出口管道分别与所述主管道流体连接；所述第一进口管道上设置有第二阀门，所述出口管道上设置有第三阀门；其中，所述第二阀门和所述第三阀门调节所述第一进口管道、所述主管道和所述出口管道形成的腔室内的流体运动；

所述第一进口管道设置于所述主管道的上方；所述出口管道设置于所述主管道的下方。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置中，通过所述第一进口管道向所述主管道通入液体或气体。

3.根据权利要求1或2所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置中，通过所述出口管道排空所述主管道内的液体或气体。

4.根据权利要求1或2所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还设置有一第二进口管道，所述第二进口管道与所述主管道流体连接，所述第二进口管道上设置有第四阀门。

5.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，所述第二进口管道设置于所述主管道的上方。

6.根据权利要求4或5所述的清洗装置，其特征在于，所述第二进口管道设置于所述第一进口管道上，所述第二进口管道和所述主管道的连通点与所述第一进口管道和所述主管道的连通点的位置相同。

7.根据权利要求5所述的清洗装置，所述第二进口管道设置于所述第二阀门和所述主管道之间的第一进口管道上。

8.一种CVD尾气管道清洗方法，其特征在于，采用如权利要求1～7中任一项所述的清洗装置，包括如下步骤：

通过第一进口管道向连通真空泵与尾气处理装置的主管道内通水，浸泡数分钟，以溶解所述主管道内的粉末；此步骤中关闭所述主管道与所述真空泵和所述尾气处理装置之间的连通；

打开出口管道，后关闭第一进口管道，以排出所述主管道内的水；

打开第二进口管道，通入气体以吹干管道内的水渍；

打开所述主管道与所述真空泵和所述尾气处理装置之间的连通，并且关闭所述主管道上的其他所有管道，进行复机。

9.根据权利要求8所述的CVD尾气管道清洗方法，其特征在于，所述浸泡的时间为5～10分钟。

10.根据权利要求8所述的CVD尾气管道清洗方法，其特征在于，所述第一进口管道和所述第二进口管道为同一管道。