[发明专利]一种工质散热元件的制备方法有效
申请号: | 202110380416.0 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN113237366B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 黄国创;吴高高;王和志;方文兵 | 申请(专利权)人: | 瑞声科技(南京)有限公司 |
主分类号: | F28D15/04 | 分类号: | F28D15/04;C23F1/18;C23F1/34 |
代理公司: | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人: | 唐楠 |
地址: | 210093 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 工质 散热 元件 制备 方法 | ||
1.一种工质散热元件的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
提供具有容纳腔的外壳;
提供金属吸液芯,将所述金属吸液芯浸泡在具有氧化性的溶液中蚀刻,得到表面具有纳米凹凸粗糙结构的蚀刻金属吸液芯,所述具有氧化性的溶液包括质量浓度为1%-5%的可溶性酸和质量浓度为20%-30%的过氧化物,或者,所述具有氧化性的溶液包括摩尔浓度为1mol/L-5mol/L的可溶性碱和摩尔浓度为0.1mol/L-0.6mol/L的氧化性物质,所述氧化性物质为可溶性硫代硫酸盐,所述可溶性硫代硫酸盐选自硫代硫酸铵、硫代硫酸钾和硫代硫酸钠中的两种,所述可溶性碱选自氢氧化钠、氢氧化钾、氢氧化铵、氢氧化钙、氢氧化钡、乙醇钠、乙醇钾、甲醇钠和苯酚钠中的两种;
将所述蚀刻金属吸液芯收容于所述容纳腔内并与所述外壳固定在一起,得到所述工质散热元件的半成品;以及
将冷却工质填充于所述容纳腔内,得到所述工质散热元件。
2.根据权利要求1所述的工质散热元件的制备方法,其特征在于,所述可溶性酸为硫酸,所述过氧化物为过氧化氢。
3.根据权利要求1所述的工质散热元件的制备方法,其特征在于,所述金属吸液芯在所述具有氧化性的溶液中浸泡的时间为10min-120min,所述具有氧化性的溶液的温度为20℃-50℃。
4.根据权利要求3所述的工质散热元件的制备方法,其特征在于,所述浸泡的时间为10min-60min,所述具有氧化性的溶液的温度为20℃-30℃。
5.根据权利要求1-2中任意一项所述的工质散热元件的制备方法,其特征在于,还包括在将所述蚀刻金属吸液芯与所述外壳固定在一起之前,对所述蚀刻金属吸液芯进行热处理的操作,所述热处理的温度为180℃-220℃,所述热处理的时间为30min-60min。
6.根据权利要求5所述的工质散热元件的制备方法,其特征在于,所述热处理的温度为180℃-200℃。
7.根据权利要求1所述的工质散热元件的制备方法,其特征在于,所述金属吸液芯的材料为铜。
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