[发明专利]一种多功能晶元烘烤设备

说明书

本发明公开了一种多功能晶元烘烤设备，包括烘烤箱，所述烘烤箱内部设有空腔，所述空腔内壁底面中部固定安装有双轴电机，所述双轴电机两侧输出端均固定连接有转轴，且转轴端部通过轴承与空腔内壁转动连接，所述转轴表面固定套接有第一链轮，所述第一链轮表面啮合有链条，所述链条内壁顶部啮合有第二链轮。从而实现了便于对晶元烘烤过程中进行调节的目标，达到了便于根据实际情况调节晶元与加热机构间距离的效果，避免了加热温度过高或过低的情况发生，有效提升了烘烤效果，使得烘烤过程更加灵活，实现了便于对晶元进行全面均匀烘烤的效果，避免了晶元表面各区域温度出现差异的情况，进一步提升了烘烤效果。

技术领域

本发明涉及半导体器件生产技术领域，尤其涉及一种多功能晶元烘烤设备。

背景技术

晶元即是指晶圆，是制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。集成电路晶圆生产是在晶圆表面上和表面内制造出半导体器件的一系列生产过程，在该生产过程中，多个阶段需要对晶圆进行加热处理。

市场上现有的晶元烘烤装置大多功能较为单一，难以在晶元烘烤过程中进行调节，容易发生烘烤过程中烘烤不均匀的情况，难以根据实际情况调整晶元与加热机构间的距离，难以全面快速均匀加热，使用起来很不灵活。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种多功能晶元烘烤设备，解决了市场上现有的晶元烘烤装置难以在晶元烘烤过程中进行调节，功能较为单一的问题。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种多功能晶元烘烤设备，包括烘烤箱，所述烘烤箱内部设有空腔，所述空腔内壁底面中部固定安装有双轴电机，所述双轴电机两侧输出端均固定连接有转轴，且转轴端部通过轴承与空腔内壁转动连接，所述转轴表面固定套接有第一链轮，所述第一链轮表面啮合有链条，所述链条内壁顶部啮合有第二链轮，所述第二链轮左侧面和右侧面中部固定插接有传动辊，且传动辊一端通过轴承与空腔内壁转动连接，所述空腔内壁与烘烤箱内壁贯通开设有第一转动槽，且第一转动槽内壁通过轴承与传动辊表面转动连接，所述传动辊端部固定连接有第一液压推杆，所述第一液压推杆输出端固定连接有固定盒，所述固定盒内壁底面固定安装有第二液压推杆，所述第二液压推杆输出端固定连接有连接杆，所述固定盒一侧壁贯通开设有滑槽，且滑槽内壁与连接杆表面滑动连接，所述连接杆端部和固定盒侧面底部均固定连接有夹紧板，所述夹紧板表面固定连接有夹紧垫，所述夹紧垫表面搭接有晶元本体，所述烘烤箱顶面中部固定安装有电机，所述电机输出端固定连接有螺纹柱，所述烘烤箱顶面贯通开设有第二转动槽，且第二转动槽内壁通过轴承与螺纹柱表面转动连接，所述螺纹柱表面螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套，左侧面和右侧面均固定连接有限位杆，所述限位杆端部固定连接有限位块，所述烘烤箱内壁左侧顶部和烘烤箱内壁右侧顶部均开设有限位槽，且限位槽内壁与限位块表面滑动连接，所述螺纹套底面固定连接有固定块，所述固定块底面固定安装有加热机构，所述烘烤箱底面固定连接有支撑块，所述烘烤箱正面左侧和正面右侧均铰接有活动门，所述活动门正面嵌设有观察窗，所述活动门正面固定连接有把手，所述烘烤箱正面右侧设有控制面板。

优选的，所述夹紧垫表面开设有防滑槽。

优选的，所述夹紧垫采用氟橡胶材质制成。

优选的，所述加热机构采用电热丝加热。

优选的，所述第一链轮、链条和第二链轮的数量均为两个，且两个第一链轮、链条和第二链轮以烘烤箱正面竖直中心线为对称轴对称分布。

优选的，所述支撑块的数量为四个，且四个支撑块分别位于烘烤箱底面近四角处。

优选的，所述滑槽为长方形通槽，所述连接杆为长方形棱柱状结构。

优选的，所述限位槽为长方形凹槽，且限位块的规格与限位槽相适配。