[发明专利]一种多功能晶元烘烤设备

权利要求书

1.一种多功能晶元烘烤设备，包括烘烤箱(1)，其特征在于，所述烘烤箱(1)内部设有空腔(2)，所述空腔(2)内壁底面中部固定安装有双轴电机(3)，所述双轴电机(3)两侧输出端均固定连接有转轴(4)，且转轴(4)端部通过轴承与空腔(2)内壁转动连接，所述转轴(4)表面固定套接有第一链轮(5)，所述第一链轮(5)表面啮合有链条(6)，所述链条(6)内壁顶部啮合有第二链轮(7)，所述第二链轮(7)左侧面和右侧面中部固定插接有传动辊(8)，且传动辊(8)一端通过轴承与空腔(2)内壁转动连接，所述空腔(2)内壁与烘烤箱(1)内壁贯通开设有第一转动槽(9)，且第一转动槽(9)内壁通过轴承与传动辊(8)表面转动连接，所述传动辊(8)端部固定连接有第一液压推杆(10)，所述第一液压推杆(10)输出端固定连接有固定盒(11)，所述固定盒(11)内壁底面固定安装有第二液压推杆(12)，所述第二液压推杆(12)输出端固定连接有连接杆(13)，所述固定盒(11)一侧壁贯通开设有滑槽(14)，且滑槽(14)内壁与连接杆(13)表面滑动连接，所述连接杆(13)端部和固定盒(11)侧面底部均固定连接有夹紧板(15)，所述夹紧板(15)表面固定连接有夹紧垫(16)，所述夹紧垫(16)表面搭接有晶元本体(17)，所述烘烤箱(1)顶面中部固定安装有电机(18)，所述电机(18)输出端固定连接有螺纹柱(19)，所述烘烤箱(1)顶面贯通开设有第二转动槽(20)，且第二转动槽(20)内壁通过轴承与螺纹柱(19)表面转动连接，所述螺纹柱(19)表面螺纹连接有螺纹套(21)，所述螺纹套(21)，左侧面和右侧面均固定连接有限位杆(22)，所述限位杆(22)端部固定连接有限位块(23)，所述烘烤箱(1)内壁左侧顶部和烘烤箱(1)内壁右侧顶部均开设有限位槽(24)，且限位槽(24)内壁与限位块(23)表面滑动连接，所述螺纹套(21)底面固定连接有固定块(25)，所述固定块(25)底面固定安装有加热机构(26)，所述烘烤箱(1)底面固定连接有支撑块(27)，所述烘烤箱(1)正面左侧和正面右侧均铰接有活动门(28)，所述活动门(28)正面嵌设有观察窗(29)，所述活动门(28)正面固定连接有把手(30)，所述烘烤箱(1)正面右侧设有控制面板(31)。

2.根据权利要求1所述的一种多功能晶元烘烤设备，其特征在于，所述夹紧垫(16)表面开设有防滑槽(32)。

3.根据权利要求1所述的一种多功能晶元烘烤设备，其特征在于，所述夹紧垫(16)采用氟橡胶材质制成。

4.根据权利要求1所述的一种多功能晶元烘烤设备，其特征在于，所述加热机构(26)采用电热丝加热。

5.根据权利要求1所述的一种多功能晶元烘烤设备，其特征在于，所述第一链轮(5)、链条(6)和第二链轮(7)的数量均为两个，且两个第一链轮(5)、链条(6)和第二链轮(7)以烘烤箱(1)正面竖直中心线为对称轴对称分布。

6.根据权利要求1所述的一种多功能晶元烘烤设备，其特征在于，所述支撑块(27)的数量为四个，且四个支撑块(27)分别位于烘烤箱(1)底面近四角处。

7.根据权利要求1所述的一种多功能晶元烘烤设备，其特征在于，所述滑槽(14)为长方形通槽，所述连接杆(13)为长方形棱柱状结构。

8.根据权利要求1所述的一种多功能晶元烘烤设备，其特征在于，所述限位槽(24)为长方形凹槽，且限位块(23)的规格与限位槽(24)相适配。