[发明专利]一种晶元烘烤用烘箱

说明书

本发明涉及晶元生产技术领域，尤其是一种晶元烘烤用烘箱，包括保温箱体，所述保温箱体固定设有安装隔板一，两个所述弧形贯穿滑槽一的内壁滑动连接设有安装板，所述安装板固定设有两个导向柱，所述保温箱体固定设有安装隔板二，所述导向柱均滑动连接设有移动座，所述移动座均固定设有L形安装板，所述L形安装板均固定设有喷风罩，所述喷风罩均固定设有伸缩软管，所述伸缩软管均固定设有连接管，所述三通固定设有加热组件，所述加热组件固定设有风机，所述长形贯穿槽的内壁滑动连接设有两个夹板，所述夹板均等距离设有多个弧形卡槽。本发明在普通烘箱的基础上，设置了往复、升降、调节和保温装置，提高了烘干效果、便捷性、节能性和工作效率。

技术领域

本发明涉及晶元生产技术领域，尤其涉及一种晶元烘烤用烘箱。

背景技术

晶元一般指晶圆，是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。在晶元的生产过程中通常需要用到烘干装置对晶元进行烘烤工作。

但是，传统的晶圆烘烤装置是线性烘烤制程，晶圆依序排列在线性的路径上，依序经机械手臂传输置入烤盘，进行烘烤完成后再经机械手臂传输出烘烤装置，一次只能对一片晶圆进行烘烤，这对晶圆烘烤产率也有较大影响。

发明内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本发明提供了一种晶元烘烤用烘箱，具有往复、升降、调节和保温功能解决了烘干效果不够理想和效率低的问题。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

设计一种晶元烘烤用烘箱，包括保温箱体，所述保温箱体内壁的一侧固定设有安装隔板一，所述安装隔板一的上表面设有两个弧形贯穿滑槽一，两个所述弧形贯穿滑槽一的内壁滑动连接设有安装板，所述保温箱体和安装隔板一之间固定设有使其产生角度位移的往复装置，所述安装板的上表面固定设有两个导向柱，所述保温箱体内壁远离安装隔板一的一侧固定设有安装隔板二，所述安装隔板二的上表面设有两个弧形贯穿滑槽二，所述弧形贯穿滑槽二的内壁均滑动连接设有滑座，且滑座分别与导向柱固定连接，所述导向柱均滑动连接设有移动座，所述安装板的上表面固定设有使移动座产生位移的驱动组件，所述移动座的一侧均固定设有L形安装板，所述L形安装板的一侧均固定设有喷风罩，所述喷风罩的一侧均固定设有伸缩软管，所述伸缩软管远离喷风罩的一端均固定设有连接管，两个所述连接管远离伸缩软管的一端依次贯穿安装隔板二和保温箱体并固定设有三通，所述三通的一侧固定设有加热组件，所述加热组件远离三通的一侧固定设有风机，所述安装隔板二上表面的中间设有长形贯穿槽，所述长形贯穿槽的内壁滑动连接设有两个夹板，所述安装隔板二与保温箱体内壁顶部之间固定设有使夹板产生位移的调节组件，所述夹板均等距离设有多个弧形卡槽。

优选的，所述弧形贯穿滑槽一和弧形贯穿滑槽二弧度均为°～°之间。

优选的，所述弧形卡槽的内壁均固定设有缓冲橡胶垫。

优选的，所述保温箱体的一侧通过铰链转动连接设有箱门，所述箱门的一侧固定设有观察罩，所述箱门远离观察罩的一侧固定设有控制器组件。

优选的，所述保温箱体的下表面固定设有多个支腿。

优选的，所述往复装置包括电机一，所述电机一与保温箱体的下表面固定连接，所述电机一的输出轴贯穿保温箱体延伸至保温箱体的内部并固定设有转盘，所述转盘上表面的一侧通过转轴转动连接设有推板，所述推板远离转盘的一侧转动连接设有连接座，所述连接座的一侧固定设有套筒，所述套筒的内壁固定设有传动柱，且传动柱的一端与保温箱体内壁的底部转动连接，所述传动柱的一端固定设有连接板，且连接板与安装板固定连接。