[发明专利]一种晶元烘烤用烘箱

权利要求书

1.一种晶元烘烤用烘箱，包括保温箱体(1)，其特征在于，所述保温箱体(1)内壁的一侧固定设有安装隔板一(2)，所述安装隔板一(2)的上表面设有两个弧形贯穿滑槽一(3)，两个所述弧形贯穿滑槽一(3)的内壁滑动连接设有安装板(4)，所述保温箱体(1)和安装隔板一(2)之间固定设有使其产生角度位移的往复装置(5)，所述安装板(4)的上表面固定设有两个导向柱(6)，所述保温箱体(1)内壁远离安装隔板一(2)的一侧固定设有安装隔板二(7)，所述安装隔板二(7)的上表面设有两个弧形贯穿滑槽二(8)，所述弧形贯穿滑槽二(8)的内壁均滑动连接设有滑座(9)，且滑座(9)分别与导向柱(6)固定连接，所述导向柱(6)均滑动连接设有移动座(10)，所述安装板(4)的上表面固定设有使移动座(10)产生位移的驱动组件(11)，所述移动座(10)的一侧均固定设有L形安装板(12)，所述L形安装板(12)的一侧均固定设有喷风罩(13)，所述喷风罩(13)的一侧均固定设有伸缩软管(14)，所述伸缩软管(14)远离喷风罩(13)的一端均固定设有连接管(15)，两个所述连接管(15)远离伸缩软管(14)的一端依次贯穿安装隔板二(7)和保温箱体(1)并固定设有三通(16)，所述三通(16)的一侧固定设有加热组件(17)，所述加热组件(17)远离三通(16)的一侧固定设有风机(18)，所述安装隔板二(7)上表面的中间设有长形贯穿槽(19)，所述长形贯穿槽(19)的内壁滑动连接设有两个夹板(20)，所述安装隔板二(7)与保温箱体(1)内壁顶部之间固定设有使夹板(20)产生位移的调节组件(21)，所述夹板(20)均等距离设有多个弧形卡槽(22)。

2.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述弧形贯穿滑槽一(3)和弧形贯穿滑槽二(8)弧度均为150°～170°之间。

3.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述弧形卡槽(22)的内壁均固定设有缓冲橡胶垫。

4.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述保温箱体(1)的一侧通过铰链转动连接设有箱门(23)，所述箱门(23)的一侧固定设有观察罩(24)，所述箱门(23)远离观察罩(24)的一侧固定设有控制器组件(25)。

5.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述保温箱体(1)的下表面固定设有多个支腿(26)。

6.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述往复装置(5)包括电机一(501)，所述电机一(501)与保温箱体(1)的下表面固定连接，所述电机一(501)的输出轴贯穿保温箱体(1)延伸至保温箱体(1)的内部并固定设有转盘(502)，所述转盘(502)上表面的一侧通过转轴转动连接设有推板(503)，所述推板(503)远离转盘(502)的一侧转动连接设有连接座(504)，所述连接座(504)的一侧固定设有套筒(505)，所述套筒(505)的内壁固定设有传动柱(506)，且传动柱(506)的一端与保温箱体(1)内壁的底部转动连接，所述传动柱(506)的一端固定设有连接板(507)，且连接板(507)与安装板(4)固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述驱动组件(11)包括双轴电机(1101)，所述双轴电机(1101)与安装板(4)固定连接，所述双轴电机(1101)的输出轴均固定设有传动杆(1102)，所述传动杆(1102)均转动连接设有支撑座(1103)，且支撑座(1103)均与安装板(4)固定连接，所述传动杆(1102)远离双轴电机(1101)的一端均固定设有锥形齿轮一(1104)，所述锥形齿轮一(1104)的一侧均齿接设有锥形齿轮二(1105)，所述锥形齿轮二(1105)均固定设有往复丝杆(1106)，且往复丝杆(1106)的两端分别与安装板(4)和滑座(9)转动连接，所述往复丝杆(1106)分别与移动座(10)螺纹连接。

8.根据权利要求1所述的一种晶元烘烤用烘箱，其特征在于，所述调节组件(21)包括电机二(2101)，所述电机二(2101)与保温箱体(1)内壁的顶部固定连接，所述电机二(2101)的输出轴固定设有蜗杆(2102)，所述蜗杆(2102)的一侧齿接设有蜗轮(2103)，所述蜗轮(2103)固定设有双螺纹丝杆(2104)，所述双螺纹丝杆(2104)的两端均转动连接设有固定块(2105)，且固定块(2105)均与安装隔板二(7)固定连接，所述双螺纹丝杆(2104)螺纹连接设有两个调节移动块(2106)，所述调节移动块(2106)分别与夹板(20)固定连接。