[发明专利]工件的检测方法、工件检测设备及存储介质

说明书

本申请公开了一种工件的检测方法、工件检测设备、及非易失性计算机可读存储介质。工件的检测方法包括：获取模板工件中模板单元的多张模板图，每张模板图的灰度值不同、获取待测工件的第一图像，第一图像中包括至少一个待检单元、获取第一图像的灰度值、根据第一图像的灰度值及多张模板图获取参考图、及根据参考图及第一图像检测每个待检单元的缺陷。本申请实施方式的工件检测方法及工件检测设备能够根据第一图像的灰度值及多张模板图获取参考图，以使获取的参考图的灰度值能够很好的适配第一图像，如此，根据参考图及第一图像检测每个待检单元的缺陷，减小非缺陷导致的参考图与第一图像之间的灰度值差异，从而提高缺陷检测的准确度。

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种工件的检测方法、工件检测设备、及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

工业检测过程中通常采用模板比较法检测工件（例如晶圆）的表面缺陷。传统的模板比较法往往以同一标准模板检测待测工件的所有位置的缺陷，然而，当同一工件的不同位置的平均灰度值差异较大时，工件表面一些位置的灰度值与标准模板的灰度值差异较大，容易导致缺陷的漏检或误判。

发明内容

本申请实施方式提供一种工件的检测方法、工件检测设备、及非易失性计算机可读存储介质。本申请实施方式的工件的检测方法包括：获取模板工件中模板单元的多张模板图，每张模板图的灰度值不同、获取待测工件的第一图像，第一图像中包括至少一个待检单元、获取第一图像的灰度值、根据第一图像的灰度值及多张模板图获取参考图、及根据参考图及第一图像检测每个待检单元的缺陷。

本申请实施方式的工件检测设备设备包括图像采集装置及处理器。所述图像采集装置用于检测工件的灰度值。所述处理器用于：获取模板工件中模板单元的多张模板图、获取待测工件的第一图像、获取第一图像的灰度值、根据第一图像的灰度值及多张模板图获取参考图、及根据参考图及第一图像检测每个待检单元的缺陷。其中，每张模板图的灰度值不同，第一图像中包括至少一个待检单元。

本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质，所述非易失性计算机可读存储介质包含计算机程序，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行如下晶圆检测方法：获取模板工件中模板单元的多张模板图，每张模板图的灰度值不同、获取待测工件的第一图像，第一图像中包括至少一个待检单元、获取第一图像的灰度值、根据第一图像的灰度值及多张模板图获取参考图、及根据参考图及第一图像检测每个待检单元的缺陷。

本申请实施方式的工件检测方法及工件检测设备能够根据第一图像的灰度值及多张模板图获取参考图，以使获取的参考图的灰度值能够很好的适配第一图像，如此，根据参考图及第一图像检测每个待检单元的缺陷，减小非缺陷导致的参考图与第一图像之间的灰度值差异，从而提高缺陷检测的准确度。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的工件的检测方法的流程示意图；

图2是本申请某些实施方式的工件检测设备的结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的工件的检测方法的流程示意图；

图4是本申请某些实施方式的工件的检测方法的流程示意图；

图5是本申请某些实施方式的挑选模板单元的场景示意图；

图6是本申请某些实施方式的模板单元的示意图；

图7是本申请某些实施方式的灰阶梯度的示意图；

图8是本申请某些实施方式的工件的检测方法的流程示意图；