[发明专利]切削装置、托盘以及搬送系统

说明书

本发明提供切削装置、托盘以及搬送系统，该切削装置能够高效地进行板相对于子卡盘工作台的装卸。切削装置包含：卡盘工作台，其具有对被加工物单元或托盘进行保持的保持面，该被加工物单元借助带将板状的被加工物支承于环状的框架，该托盘的形状与框架对应；载置区域，其载置有收纳被加工物单元或托盘的容器；搬送单元，其具有对被加工物单元或托盘进行保持的保持垫，并且该搬送单元在载置区域与卡盘工作台之间搬送被加工物单元或托盘；子卡盘工作台，其设置于卡盘工作台的侧方，具有对用于切削单元的调整的板进行保持的保持面；以及板搬送单元，其在卡盘工作台所保持的托盘与子卡盘工作台之间搬送板。

技术领域

本发明涉及在对板状的被加工物进行加工时使用的切削装置、在该切削装置中使用的托盘、以及在对该切削装置搬送被加工物时使用的搬送系统。

背景技术

在将以半导体晶片为代表的板状的被加工物分割成多个芯片时，例如使用安装有环状的切削刀具的切削装置。一边使高速旋转的切削刀具切入被加工物，一边使切削刀具和被加工物相对地移动，从而能够沿着该移动的路径对被加工物进行切削。

但是，在刚刚将切削刀具安装于作为旋转轴的主轴之后，切削刀具很有可能相对于该主轴偏心，或者切削刀具的锋利度不够。因此，在对被加工物进行切削之前，进行使该切削刀具旋转并切入调整用的板(修整板)的被称为修整的作业，调整切削刀具的状态。

近年来，与对被加工物进行保持的卡盘工作台分开地具有对上述那样的板进行保持的子卡盘工作台的切削装置被实用化(例如，参照专利文献1)。根据该切削装置，即使在由卡盘工作台保持着被加工物的状态下，也能够执行切削刀具的修整。

专利文献1：日本特开2011-16175号公报

在上述切削装置中，虽然提高了进行修整的时机的自由度，但板相对于子卡盘工作台的装卸依然通过操作者的手动作业来进行。因此，在相对于子卡盘工作台装卸板时，很有可能浪费时间。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供高效地进行板相对于子卡盘工作台的装卸的切削装置、在该切削装置中使用的托盘、以及在对该切削装置搬送被加工物时使用的搬送系统。

根据本发明的一个方面，提供一种切削装置，该切削装置包含：切削单元，其具有安装有切削刀具的主轴；卡盘工作台，其具有对被加工物单元或托盘进行保持的保持面，该被加工物单元借助带将板状的被加工物支承于环状的框架，该托盘的形状与该框架对应；加工进给单元，其具有驱动源，并且该加工进给单元使该卡盘工作台沿着加工进给方向移动；分度进给单元，其具有驱动源，并且该分度进给单元使该切削单元沿着与该加工进给方向垂直的分度进给方向移动；载置区域，其载置有收纳该被加工物单元或该托盘的容器；搬送单元，其具有对该被加工物单元或该托盘进行保持的第1保持垫，并且该搬送单元在该载置区域与该卡盘工作台之间搬送该被加工物单元或该托盘；子卡盘工作台，其设置于该卡盘工作台的侧方，具有对用于该切削单元的调整的板进行保持的保持面；以及板搬送单元，其在该卡盘工作台所保持的该托盘与该子卡盘工作台之间搬送该板，该板搬送单元具有：第2保持垫，其对该板进行保持；以及致动器，其与该切削单元一起被支承于该分度进给单元，并且该致动器使该第2保持垫沿着与该加工进给方向和该分度进给方向垂直的方向移动。

根据本发明的另一方面，提供一种托盘，该托盘被使用在上述切削装置中，其中，该托盘包含：板状的主体部，其具有与该框架相同形状的外缘；第1板配置区域，其设置于该主体部的一个面，配置有搬入到该子卡盘工作台之前的该板；以及第2板配置区域，其设置于该主体部的该一个面，配置有从该子卡盘工作台搬出后的该板。