[发明专利]切削装置、托盘以及搬送系统在审
申请号: | 202110367376.6 | 申请日: | 2021-04-06 |
公开(公告)号: | CN113492467A | 公开(公告)日: | 2021-10-12 |
发明(设计)人: | 关家一马 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/673 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;杨俊波 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 切削 装置 托盘 以及 系统 | ||
1.一种切削装置,其包含:
切削单元,其具有安装有切削刀具的主轴;
卡盘工作台,其具有对被加工物单元或托盘进行保持的保持面,该被加工物单元是借助带将板状的被加工物支承于环状的框架而得的,该托盘的形状与该框架对应;
加工进给单元,其具有驱动源,并且该加工进给单元使该卡盘工作台沿着加工进给方向移动;
分度进给单元,其具有驱动源,并且该分度进给单元使该切削单元沿着与该加工进给方向垂直的分度进给方向移动;
载置区域,其载置有收纳该被加工物单元或该托盘的容器;
搬送单元,其具有对该被加工物单元或该托盘进行保持的第1保持垫,并且该搬送单元在该载置区域与该卡盘工作台之间搬送该被加工物单元或该托盘;
子卡盘工作台,其设置于该卡盘工作台的侧方,具有对用于该切削单元的调整的板进行保持的保持面;以及
板搬送单元,其在该卡盘工作台所保持的该托盘与该子卡盘工作台之间搬送该板,
该板搬送单元具有:
第2保持垫,其对该板进行保持;以及
致动器,其与该切削单元一起被支承于该分度进给单元,并且该致动器使该第2保持垫沿着与该加工进给方向和该分度进给方向垂直的方向移动。
2.根据权利要求1所述的切削装置,其中,
该切削装置还包含托盘收纳区域,该托盘收纳区域配置于该载置区域的下方的区域,能够收纳该托盘,
该搬送单元在该托盘收纳区域与该卡盘工作台之间搬送该托盘。
3.一种托盘,其被使用在切削装置中,其中,
该切削装置包含:
切削单元,其具有安装有切削刀具的主轴;
卡盘工作台,其具有对被加工物单元或该托盘进行保持的保持面,该被加工物单元是借助带将板状的被加工物支承于环状的框架而得的,该托盘的形状与该框架对应;
加工进给单元,其具有驱动源,并且该加工进给单元使该卡盘工作台沿着加工进给方向移动;
分度进给单元,其具有驱动源,并且该分度进给单元使该切削单元沿着与该加工进给方向垂直的分度进给方向移动;
载置区域,其载置有收纳该被加工物单元或该托盘的容器;
搬送单元,其具有对该被加工物单元或该托盘进行保持的第1保持垫,并且该搬送单元在该载置区域与该卡盘工作台之间搬送该被加工物单元或该托盘;
子卡盘工作台,其设置于该卡盘工作台的侧方,具有对用于该切削单元的调整的板进行保持的保持面;以及
板搬送单元,其在该卡盘工作台所保持的该托盘与该子卡盘工作台之间搬送该板,
该板搬送单元具有:
第2保持垫,其对该板进行保持;以及
致动器,其与该切削单元一起被支承于该分度进给单元,并且该致动器使该第2保持垫沿着与该加工进给方向和该分度进给方向垂直的方向移动,
该托盘包含:
板状的主体部,其具有与该框架相同形状的外缘;
第1板配置区域,其设置于该主体部的一个面,供向该子卡盘工作台搬入前的该板配置;以及
第2板配置区域,其设置于该主体部的该一个面,供从该子卡盘工作台搬出后的该板配置。
4.根据权利要求3所述的托盘,其中,
该切削装置还包含托盘收纳区域,该托盘收纳区域配置于该载置区域的下方的区域,能够收纳该托盘,
该搬送单元在该托盘收纳区域与该卡盘工作台之间搬送该托盘。
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