[发明专利]一种纯化大流量NF3

权利要求书

1.一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：所述纯化方法步骤如下，

NF₃电解气从塔底进入直径为(500～1500)mm以及高度为(5000～15000)mm的裂解塔内部，NF₃电解气由塔底流动到塔顶的过程中，NF₃电解气中的N₂F₂在(150～350)℃下完全分解去除，去除N₂F₂的NF₃电解气从塔顶排出；

其中，所述NF₃电解气的进气流量为(100～650)kg/h，NF₃电解气中N₂F₂的体积分数小于等于8％，且NF₃电解气在裂解塔中的滞留时间不低于0.5min。

2.根据权利要求1所述的一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：NF₃电解气中N₂F₂的浓度为1.5％～8％。

3.根据权利要求1所述的一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：NF₃电解气在裂解塔中的滞留时间为(0.5～5)min。

4.根据权利要求1所述的一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：所述裂解塔的直径为(800～1200)mm，高度为(8000～13000)mm。

5.根据权利要求4所述的一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：所述NF₃电解气的进气流量为(300～500)kg/h。

6.根据权利要求1所述的一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：所述裂解塔与外部的电解槽直接连接，或者不与外部的电解槽直接连接；

其中，所述裂解塔与外部的电解槽直接连接时，裂解塔内部的工作压力为(-0.05～0.01)MPa；所述裂解塔不与外部的电解槽直接连接时，裂解塔内部的工作压力为(0～0.25)MPa。

7.根据权利要求1所述的一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：裂解塔内部填料的比表面积为(100～400)m²/m³。

8.根据权利要求1所述的一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：所述裂解塔采用电磁加热设备进行加热。

9.根据权利要求8所述的一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：所述电磁加热设备包括交流电源、电磁加热器、发热体以及保温层；

电磁加热器位于发热体与保温层之间，发热体的内型面与裂解塔的外型面共形，且发热体的内型面与裂解塔的外型面相贴合，交流电源为电磁加热器供电。

10.根据权利要求8或9所述的一种纯化大流量NF₃电解气中高浓度N₂F₂的方法，其特征在于：电磁加热设备的个数为2～6个，电磁加热设备在裂解塔的轴向上均匀分布。