[发明专利]可燃气体处理装置

权利要求书

1.一种可燃气体处理装置，用于对工艺腔室排放的工艺废气中的可燃气体进行处理，其特征在于，所述可燃气体处理装置包括燃烧腔室和吸收存储腔室，其中，所述燃烧腔室用于连通所述工艺腔室和所述吸收存储腔室；

所述燃烧腔室内设有高温燃烧组件，所述高温燃烧组件用于使排放至所述燃烧腔室中的所述工艺废气中的可燃气体燃烧，燃烧后的所述工艺废气进入所述吸收存储腔室中；

所述吸收存储腔室的制作材料能够吸收并存储燃烧后的所述工艺废气中的所述可燃气体，且所述吸收存储腔室上设置有第一排气结构，所述第一排气结构用于将未经吸收存储的所述工艺废气排放；

所述高温燃烧组件包括高温燃烧腔室和高温部件，所述高温燃烧腔室设置在所述燃烧腔室中，所述高温部件设置在所述高温燃烧腔室中；

所述可燃气体处理装置还包括助燃组件，所述助燃组件用于向所述高温燃烧腔室中通入与所述可燃气体相同的气体，以提高所述工艺废气中的所述可燃气体的浓度。

2.根据权利要求1所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述吸收存储腔室的制作材料包括能够吸收并存储所述可燃气体的金属化合物。

3.根据权利要求2所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述金属化合物包括镁镍合金。

4.根据权利要求1所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述可燃气体处理装置还包括稀释气体管件，所述稀释气体管件与所述吸收存储腔室连通，并能够与稀释气体源连通，用于通过将所述稀释气体源提供的稀释气体引流至所述吸收存储腔室中，对进入所述吸收存储腔室中的所述工艺废气中的所述可燃气体进行稀释。

5.根据权利要求1所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述高温燃烧腔室能够与所述工艺腔室连通，使所述工艺废气排放至所述高温燃烧腔室中，且与所述燃烧腔室连通，使燃烧后的所述工艺废气通过所述燃烧腔室进入所述吸收存储腔室中；

所述高温部件用于产生高温使排放至所述高温燃烧腔室中的所述工艺废气中的所述可燃气体燃烧。

6.根据权利要求1所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述助燃组件包括助燃腔室、助燃气体管件和第二排气结构，其中，所述助燃腔室设置在所述高温燃烧腔室中，并能够与所述工艺腔室连通，使所述工艺废气排放至所述助燃腔室中；

所述助燃气体管件与所述助燃腔室连通，并能够与助燃气体源连通，将所述助燃气体源提供的所述助燃气体引流至所述助燃腔室中，与进入所述助燃腔室中的所述工艺废气混合；

所述第二排气结构设置在所述助燃腔室上，并与所述高温部件对应设置，将混合后的所述工艺废气和所述助燃气体排放至所述高温部件。

7.根据权利要求5所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述可燃气体处理装置还包括燃烧检测部件，所述燃烧检测部件用于对排放至所述高温燃烧腔室中的所述工艺废气中的所述可燃气体燃烧产生的火焰进行检测。

8.根据权利要求5所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述燃烧腔室设置有导流结构，所述导流结构用于将燃烧后的所述工艺废气导流向所述燃烧腔室与所述吸收存储腔室的连通处。

9.根据权利要求8所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述导流结构包括导流板，所述导流板的一侧连接于所述燃烧腔室与所述吸收存储腔室连通的侧壁，另一侧与所述侧壁相邻的邻侧壁连接，并相对于所述侧壁和所述邻侧壁倾斜设置，使燃烧后的所述工艺废气沿其流向所述侧壁。

10.根据权利要求9所述的可燃气体处理装置，其特征在于，所述可燃气体处理装置还包括第一冷却组件、第二冷却组件和第三冷却组件中的一个或多个，其中，所述第一冷却组件设置在所述吸收存储腔室中，用于对进入所述吸收存储腔室中的燃烧后的所述工艺废气进行冷却；

所述第二冷却组件设置在所述高温燃烧腔室中，用于对进入所述高温燃烧腔室中，并经过高温燃烧后的所述工艺废气进行冷却；

所述第三冷却组件设置在所述燃烧腔室中，并设置在所述导流板上，用于对沿所述导流板流动的燃烧后的所述工艺废气进行冷却。