[发明专利]多通道式离子源及其工作方法

权利要求书

1.多通道式离子源，所述多通道式离子源包括电源；其特征在于，所述多通道式离子源包括：

阳极和阴极，所述阳极内具有多个第一气体通道；所述阴极内具有多个贯穿的第二气体通道；所述阴极和阳极间具有第一间隙，所述第一气体通道和第二气体通道相对设置，所述第一气体通道的中心轴线穿过所述第二气体通道；

第一密封件，所述第一密封件设置在所述阳极和阴极之间，使得所述第一间隙与外界隔离；

引出电极，所述引出电极具有多个贯穿的离子通道，所述离子通道与所述第二气体通道相对设置，所述离子通道的中心轴线穿过所述第二气体通道；所述引出电极和阴极间具有第二间隙；所述电源为所述阳极、阴极和引出电极提供电压；

真空腔，所述真空腔内设置多个离子传输单元，从所述离子通道出射的离子穿过离子传输单元；

样气通道，所述样气通道用于将样气送入所述真空腔内。

2.根据权利要求1所述的多通道式离子源，其特征在于，所述第一气体通道、第二气体通道和离子通道共轴，多个第一气体通道的中心轴线相互平行。

3.根据权利要求2所述的多通道式离子源，其特征在于，所述多通道式离子源还包括：

第二密封件，所述第二密封件设置在所述引出电极和阴极之间；

气体出口，所述气体出口设置在第二密封件上，所述第二间隙内的试剂气体通过气体出口排出。

4.根据权利要求1所述的多通道式离子源，其特征在于，所述样气通道形成在气体管道内，所述气体管道依次穿过阳极、阴极和引出电极的中心，进入所述真空腔内。

5.根据权利要求1所述的多通道式离子源，其特征在于，所述阳极具有气体进口和分散通道，所述分散通道设置在所述阳极内；试剂气体依次通过气体进口、分散通道和第一气体通道和第二气体通道。

6.根据权利要求2所述的多通道式离子源，其特征在于，相邻第一气体通道或第二气体通道间的距离相等。

7.根据权利要求1所述的多通道式离子源，其特征在于，所述离子传输单元是多级杆。

8.根据权利要求1所述的多通道式离子源，其特征在于，所述第二气体通道的直径为0.5-0.8mm。

9.根据权利要求1-8任一所述的多通道式离子源的工作方法，所述工作方法包括：

试剂气体进入多个第一气体通道内，穿过所述第一间隙，进入多个第二气体通道内；

试剂气体在第二气体通道内被电离，产生的试剂离子穿过第二气体通道；

在引出电极作用下，离子穿过引出电极的试剂离子通道进入真空腔；

离子在离子传输单元内与样气分子碰撞，产生样气离子。

10.根据权利要求9所述的多通道式离子源的工作方法，其特征在于，所述第二气体通道内的试剂气体进入第二间隙，之后排出第二间隙。