[发明专利]焊接装置及衬垫的异常的检测方法有效
| 申请号： | 202110347319.1 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113145965B | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 桧山勉;小岛信弘 | 申请（专利权）人： | 千住金属工业株式会社 |
| 主分类号： | B23K3/00 | 分类号： | B23K3/00;B23K3/08;G01M3/02;G01M3/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 朱美红;张一舟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 焊接 装置 衬垫 异常 检测 方法 | ||
1.一种焊接装置，其特征在于，
具备：
炉体，具备对基板进行处理的处理室；
衬垫，设在前述炉体的至少一部分，构成为将前述炉体密封；
密闭空间，被从前述处理室隔离，由前述炉体和前述衬垫划定；
气体供给装置，构成为向前述密闭空间内供给第1气体；以及
测量装置，构成为测量前述密闭空间内的压力或前述密闭空间内的第2气体的浓度；
前述衬垫包括：
第1密封部；
第2密封部，与前述第1密封部离开而配置；
第3密封部，将前述第1密封部与前述第2密封部之间密封；以及
第4密封部，将前述第1密封部与前述第2密封部之间密封，与前述第3密封部离开而配置；
前述密闭空间至少由前述炉体、前述第1密封部、前述第2密封部、前述第3密封部及前述第4密封部划定。
2.如权利要求1所述的焊接装置，其特征在于，
前述第1气体是氮。
3.如权利要求1或2所述的焊接装置，其特征在于，
前述第2气体是氧。
4.如权利要求1所述的焊接装置，其特征在于，
前述第1气体和前述第2气体是相同种类的气体。
5.如权利要求1或2所述的焊接装置，其特征在于，
前述第3密封部被配置在前述第1密封部和前述第2密封部各自的一方的端部之间；
前述第4密封部被配置在前述第1密封部和前述第2密封部各自的另一方的端部之间。
6.如权利要求1或2所述的焊接装置，其特征在于，
具有能够与前述测量装置通信的控制装置；
前述控制装置构成为，判定从前述测量装置接收到的前述压力或前述浓度是否达到了规定的阈值。
7.一种检测方法，是衬垫的异常的检测方法，所述衬垫将具备对基板进行处理的处理室的炉体密封，该检测方法的特征在于，
前述衬垫包括：
第1密封部；
第2密封部，与前述第1密封部离开而配置；
第3密封部，将前述第1密封部与前述第2密封部之间密封；以及
第4密封部，将前述第1密封部与前述第2密封部之间密封，与前述第3密封部离开而配置；
前述检测方法包括：
至少由前述炉体、前述第1密封部、前述第2密封部、前述第3密封部及前述第4密封部，划定被从前述处理室隔离的密闭空间；
向前述密闭空间供给第1气体；
测量前述密闭空间内的压力或第2气体的浓度；
判定前述压力或前述第2气体的浓度是否达到了规定的阈值。
8.如权利要求7所述的检测方法，其特征在于，
前述第1气体是氮。
9.如权利要求7或8所述的检测方法，其特征在于，
前述第2气体是氧。
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