[发明专利]一种显示面板、显示面板的制作方法及显示装置

说明书

本发明实施例公开一种显示面板、显示面板的制作方法及显示装置。该显示面板包括衬底；设置于衬底同侧的第一薄膜晶体管、第二薄膜晶体管以及存储电容；存储电容包括第一电极、第二电极以及设置于第一电极和第二电极之间的绝缘层，且第二电极设置于第一电极远离衬底的一侧；第一电极与第一薄膜晶体管的第一栅电极同层设置；第二电极与第二薄膜晶体管的第二栅电极同层设置；绝缘层在衬底上的垂直投影与第二薄膜晶体管在衬底上的垂直投影不交叠。本发明实施例提出的技术方案提高了第一薄膜晶体管和第二薄膜晶体管的可靠性和稳定性，解决现有显示面板存在的工艺复杂以及不同类型的薄膜晶体管相互干扰影响显示效果的问题。

技术领域

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示面板、显示面板的制作方法及显示装置。

背景技术

随着显示技术的发展以及人们生活水平的提高，对显示面板的要求越来越高。现有的显示装置包括像素电路和用于驱动像素电路的驱动电路，像素电路和驱动电路均包括薄膜晶体管，日趋轻薄化的显示装置需要将不同类型的薄膜晶体管制作在同一衬底上，然而现有的显示面板存在工艺复杂以及制得的不同类型的薄膜晶体管相互干扰影响显示效果的问题。

发明内容

本发明实施例提供一种显示面板、显示面板的制作方法及显示装置，以解决现有的显示面板存在的工艺复杂以及不同类型的薄膜晶体管相互干扰影响显示效果的问题。

为实现上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明实施例提供一种显示面板，包括：

衬底；

设置于衬底同侧的第一薄膜晶体管、第二薄膜晶体管以及存储电容；

存储电容包括第一电极、第二电极以及设置于第一电极和第二电极之间的绝缘层，且第二电极设置于第一电极远离衬底的一侧；第一电极与第一薄膜晶体管的第一栅电极同层设置；第二电极与第二薄膜晶体管的第二栅电极同层设置；

绝缘层在衬底上的垂直投影与第二薄膜晶体管在衬底上的垂直投影不交叠。

进一步的，第一薄膜晶体管还包括设置于第一栅电极邻近衬底一侧的第一有源层，以及设置于第一有源层和第一栅电极之间的第一栅绝缘层；

第二薄膜晶体管还包括设置于第二栅电极邻近衬底一侧的第二有源层，以及设置于第二有源层和第二栅电极之间的第二栅绝缘层；

第二有源层设置于第一栅绝缘层远离衬底的一侧。

进一步的，第二栅绝缘层在衬底上的垂直投影与第一薄膜晶体管在衬底上的垂直投影不交叠。

进一步的，第一栅绝缘层与第二栅绝缘层的材料不同；

第二栅绝缘层的材料与绝缘层的材料不同。

进一步的，第一栅电极复用为第一电极。

进一步的，第一薄膜晶体管为低温多晶硅薄膜晶体管，第二薄膜晶体管为氧化物半导体薄膜晶体管。

第二方面，本发明实施例提供一种显示面板的制作方法，包括：

提供衬底；

在衬底的同侧制作第一薄膜晶体管、第二薄膜晶体管以及存储电容；其中，存储电容包括第一电极、第二电极以及设置于第一电极和第二电极之间的绝缘层，且第二电极设置于第一电极远离衬底的一侧；第一电极与第一薄膜晶体管的第一栅电极同层设置；第二电极与第二薄膜晶体管的第二栅电极同层设置；绝缘层在衬底上的垂直投影与第二薄膜晶体管在衬底上的垂直投影不交叠。

进一步的，在衬底的同侧制作第一薄膜晶体管、第二薄膜晶体管以及存储电容，包括：

在衬底上形成第一薄膜晶体管的第一有源层；