[发明专利]针卡结构和测试设备

权利要求书

1.一种针卡结构，其特征在于，包括：

支撑结构，所述支撑结构至少包括在第一方向上相对设置的第一部分和第二部分，所述第一部分包括在第二方向上依次排列的多个第一凹槽结构，所述第二部分包括在所述第二方向上依次排列的多个第二凹槽结构，所述第一方向不同于所述第二方向，使得所述第一部分和所述第二部分在第二方向上相互不影响；

连接结构，所述连接结构包括多个第一电连接结构和多个第二电连接结构，每一个所述第一电连接结构与所述多个第一凹槽结构中的一个第一凹槽结构对应且至少部分位于所述第一凹槽结构内，每一个所述第二电连接结构与所述多个第二凹槽结构中的一个第二凹槽结构对应且至少部分位于所述第二凹槽结构内；

其中，沿所述第二方向排列的所述多个第一凹槽结构中的第一个第一凹槽结构与所述第一部分中靠近所述第一个第一凹槽结构的端部之间的距离大于或等于200um，沿所述第二方向排列的所述多个第一凹槽结构中的最后一个第一凹槽结构与所述第一部分中靠近所述最后一个第一凹槽结构的端部之间的距离大于或等于200um；和/或

沿所述第二方向排列的所述多个第二凹槽结构中的第一个第二凹槽结构与所述第二部分中靠近所述第一个第二凹槽结构的端部之间的距离大于或等于200um，沿所述第二方向排列的所述多个第二凹槽结构中的最后一个第二凹槽结构与所述第二部分中靠近所述最后一个第二凹槽结构的端部之间的距离大于或等于200um。

2.根据权利要求1所述的针卡结构，其特征在于，所述第一电连接结构包括位于所述第一凹槽结构内的第一区域和位于所述第一凹槽结构外的第二区域，所述第一电连接结构从所述第一凹槽结构沿靠近所述第二部分的方向延伸；和/或

所述第二电连接结构包括位于所述第二凹槽结构内的第三区域以及位于所述第二凹槽结构外的第四区域，所述第二电连接结构从所述第二凹槽结构沿靠近所述第一部分的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的针卡结构，其特征在于，所述第一电连接结构在所述第二方向上的正投影与所述第二电连接结构在所述第二方向上的正投影之间相互不重叠。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的针卡结构，其特征在于，所述支撑结构还包括第三部分，所述第三部分与所述第一部分和所述第二部分分别连接。

5.根据权利要求4所述的针卡结构，其特征在于，所述第三部分为环状结构，且所述第三部分至少包括在所述第一方向上相对设置的第五区域和第六区域，所述第五区域与所述第一部分连接，所述第六区域与所述第二部分连接。

6.根据权利要求5所述的针卡结构，其特征在于，在所述第一方向上，所述第一部分的一端与所述第五区域连接，所述第一部分的另一端沿靠近所述第六区域的方向延伸；和/或

在所述第一方向上，所述第二部分的一端与所述第六区域连接，所述第二部分的另一端沿靠近所述第五区域的方向延伸。

7.根据权利要求6所述的针卡结构，其特征在于，所述第三部分为封闭的环状结构，所述第一部分靠近所述第六区域的一端和/或所述第二部分靠近所述第五区域的一端位于所述环状结构内。

8.根据权利要求4所述的针卡结构，其特征在于，所述第一部分、所述第二部分和所述第三部分为一体结构。

9.一种测试设备，其特征在于，包括：

权利要求1-8任意一项所述的针卡结构；

信号处理器件，其中，所述信号处理器件与所述针卡结构中的第一电连接结构和第二电连接结构电连接，用于通过所述第一电连接结构输出驱动信号，并通过所述第二电连接结构采集测试信号。